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원고
가부시키가이샤 아드반테스트 (소송대리인 변호사 오관석외 5인)
피고
주식회사 테크윙 (소송대리인 변호사 도두형외 3인)
변론종결
2006. 11. 23.
주문
1. 원고의 청구를 기각한다.
2. 소송비용은 원고의 부담으로 한다.
청구취지
특허심판원이 2006. 2. 28. 2005당595호 사건에 관하여 한 심결 가운데 등록번호 제355422호 특허발명의 특허청구범위 중 청구항 1. 내지 10. 15. 16. 18. 21. 내지 27.에 관한 부분을 취소한다.
이유
1. 기초사실
가. 이 사건 특허발명
(1) 명칭 : 반도체디바이스 시험장치
(2) 출원일/우선권 주장일/등록일/등록번호 : 1997. 4. 4./1996. 4. 5./2002. 9. 24./제355422호
(3) 특허권자 : 원고
(4) 특허청구범위(주요 도면은 별지 1.과 같다.)
청구항 1. 반도체테스터의 테스트헤드를 배치한 항온테스트부와; 로우더부와, 언로우더부를 구비한 핸들러부와; 각각이 반도체디바이스 탑재용의 복수의 디바이스캐리어를 가진 복수의 테스트트레이를; 구비하고, 핸들러부의 로우더부에 반송되어 정지 상태에 있는 하나의 테스트트레이의 각 디바이스캐리어에 피시험 반도체디바이스를 각각 탑재하고, 이 테스트트레이를 상기 로우더부에서 테스트부로 반송하여 그곳에서 테스트헤드를 통하여 테스터에서 반도체디바이스를 시험하고, 시험 종료 후, 시험을 마친 반도체디바이스를 탑재한 테스트트레이를 상기 테스트부에서 핸들러부의 언로우더부로 반출하고, 이 언로우더부에 있어서 상기 테스트트레이 상의 시험을 마친 반도체디바이스를 범용트레이에 옮겨쌓고, 비게 된 테스트트레이를 상기 언로우더부에서 로우더부로 반송하여 상기 동작을 반복하도록 구성되어 있는 반도체디바이스 시험장치에 있어서(이하 ‘전제부 구성’라고 한다.), 반도체디바이스의 제1검출센서와 타이밍검출센서를 더 구비하고, 상기 반도체디바이스의 제1검출센서는 상기 언로우더부에서 상기 로우더부로의 테스트트레이의 반송경로 중에 설치되며(이하 ‘구성요소 1’이라고 한다.), 상기 테스트트레이는 그 위에 상기 복수의 디바이스캐리어를 테스트트레이의 반송방향과 평행한 방향의 복수의 디바이스캐리어 종렬과, 테스트트레이의 반송방향과 직각인 방향의 복수의 디바이스캐리어 횡렬을 형성하도록 유지하며(이하 ‘구성요소 2’라고 한다.), 또, 테스트트레이의 반송방향에 평행한 사이드프레임에 테스트트레이 상의 상기 복수의 디바이스캐리어 횡렬에 대응하는 위치에 일련의 타이밍마크를 가지고(이하 ‘구성요소 3’이라고 한다.), 상기 타이밍검출센서가 상기 일련의 타이밍마크를 검출하는 타이밍과 동기하여 이 반도체디바이스의 제1검출센서가 상기 언로우더부에서 상기 로우더부로 반송되는 테스트트레이 상의 디바이스캐리어 중에 반도체디바이스가 남겨져 있는가의 여부를 검출하는 것(이하 ‘구성요소 4’라고 한다.)을 특징으로 하는 반도체디바이스 시험장치(이하 ‘이 사건 제1항 발명’이라고 하고, 나머지 청구항에 대하여도 같은 방식으로 부른다.).
청구항 2. 반도체테스터의 테스트헤드를 배치한 항온테스트부와; 로우더부와, 언로우더부를 구비한 핸들러부와; 각각이 반도체디바이스 탑재용의 복수의 디바이스캐리어를 가진 복수의 테스트트레이를 구비하고, 핸들러부의 로우더부에 있어서 테스트트레이의 디바이스캐리어에 피시험 반도체디바이스를 탑재하고, 이 테스트트레이를 상기 로우더부로부터 테스트부로 반송하여 그곳에서 테스트헤드를 통하여 테스터에서 반도체디바이스를 시험하고, 시험 종료 후, 시험을 마친 반도체디바이스를 탑재한 테스트트레이를 상기 테스트부로부터 핸들러부의 언로우더부로 반출하고, 이 언로우더부에 있어서 상기 테스트트레이 상의 시험을 마친 반도체디바이스를 범용트레이에 옮겨쌓고, 비게 된 테스트트레이를 상기 언로우더부로부터 상기 로우더부로 반송하여 상기 동작을 반복하도록 구성되어 있는 반도체디바이스 시험장치에 있어서, 반도체디바이스의 제2검출센서와 타이밍검출센서를 더 구비하고, 상기 반도체디바이스의 제2검출센서는, 상기 테스트부에서 상기 언로우더부로의 테스트트레이의 반송경로 중에 설치되며, 상기 테스트트레이는 그 위에 상기 복수의 디바이스캐리어를, 테스트트레이의 반송방향과 평행한 방향의 복수의 디바이스캐리어 종렬과, 테스트트레이의 반송방향과 직각인 방향의 복수의 디바이스캐리어 횡렬을 형성하도록 유지하고, 또한, 테스트트레이의 반송방향에 평행한 사이드프레임에 테스트트레이 상의 상기 복수의 디바이스캐리어 횡렬에 대응하는 위치에 일련의 타이밍마크를 가지며, 상기 타이밍검출센서가 상기 일련의 타이밍마크를 검출하는 타이밍과 동기하여 이 반도체디바이스의 제2검출센서가, 상기 테스트부에서 상기 언로우더부를 향하여 반송되는 테스트트레이 상에 빈 반도체디바이스캐리어가 존재하는가 아닌가를 검출하는 것을 특징으로 하는 반도체디바이스 시험장치.
청구항 3. 반도체테스터의 테스트헤드를 배치한 항온테스트부와; 로우더부와, 언로우더부를 구비한 핸들러부와; 각각이 반도체디바이스 탑재용의 복수의 디바이스캐리어를 가진 복수의 테스트트레이를 구비하고, 핸들러부의 로우더부에 있어서 테스트트레이의 디바이스캐리어에 피시험 반도체디바이스를 탑재하고, 이 테스트트레이를 상기 로우더부로부터 테스트부로 반송하여 그곳에서 테스트헤드를 통하여 테스터에서 반도체디바이스를 시험하고, 시험 종료 후, 시험을 마친 반도체디바이스를 탑재한 테스트트레이를 상기 테스트부로부터 핸들러부의 언로우더부로 반출하고, 이 언로우더부에 있어서 상기 테스트트레이 상의 시험을 마친 반도체디바이스를 범용트레이에 옮겨쌓고, 빈 것으로 된 테스트트레이를 상기 언로우더부로부터 로우더부로 반송하여 상기 동작을 반복하도록 구성되어 있는 반도체디바이스 시험장치에 있어서, 반도체디바이스의 제3검출센서와 타이밍검출센서를 더 구비하고, 상기 반도체디바이스의 제3검출센서는, 상기 로우더부에서 상기 테스트부로의 테스트트레이의 반송경로 중에 설치되며, 상기 테스트트레이는 그 위에 상기 복수의 디바이스캐리어를, 테스트트레이의 반송방향과 평행한 방향의 복수의 디바이스캐리어 종렬과, 테스트트레이의 반송방향과 직각인 방향의 복수의 디바이스캐리어 횡렬을 형성하도록 유지하고, 또한, 테스트트레이의 반송방향에 평행한 사이드프레임에 테스트트레이 상의 상기 복수의 디바이스캐리어 횡렬에 대응하는 위치에 일련의 타이밍마크를 가지며, 상기 타이밍검출센서가 상기 일련의 타이밍마크를 검출하는 타이밍과 동기하여 이 반도체디바이스의 제3검출센서가, 상기 로우더부에서 상기 테스트부를 향하여 반송되는 테스트트레이 상에 빈 반도체디바이스캐리어가 존재하는가 아닌가를 검출하는 것을 특징으로 하는 반도체디바이스 시험장치.
청구항 4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 핸들러부는 봉 형상의 매거진이라 칭해지는 반도체디바이스 수납용기에 수납되어 있는 반도체디바이스라도, 범용트레이에 수납되어 있는 반도체디바이스라도, 테스트트레이에 옮겨쌓아 테스트부로 반송하여 시험하고, 언로우더부에 있어서 시험결과의 데이터에 의거하여 시험을 마친 반도체디바이스에 대하여 여러 가지 처리를 행하도록 구성되어 있는 매거진·트레이 겸용형의 핸들러이고, 상기 로우더부는 상기 매거진에서 배출된 반도체디바이스를 테스트트레이에 옮겨쌓는 장소인 것을 특징으로 하는 반도체디바이스 시험장치.
청구항 5. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 핸들러부는 상기 로우더부에 있어서 범용트레이에 수납되어 있는 반도체디바이스를 테스트트레이에 옮겨쌓아서 테스트부로 반송하여 시험하고, 언로우더부에 있어서 시험결과의 데이터에 의거하여 시험을 마친 반도체디바이스에 대하여 여러 가지 처리를 행하도록 구성되어 있는 수평반송방식이라 칭해지는 핸들러인 것을 특징으로 하는 반도체디바이스 시험장치.
청구항 6. 제1항에 있어서, 상기 반도체디바이스 시험장치는 반도체디바이스의 제2검출센서와 타이밍검출센서를 더 구비하고, 상기 반도체디바이스의 제2검출센서는, 상기 테스트부에서 상기 언로우더부로의 테스트트레이의 반송경로 중에 설치되며, 상기 테스트트레이는 그 위에 상기 복수의 디바이스캐리어를, 테스트트레이의 반송방향과 평행한 방향의 복수의 디바이스캐리어 종렬과, 테스트트레이의 반송방향과 직각인 방향의 복수의 디바이스캐리어 횡렬을 형성하도록 유지하고, 또한, 테스트트레이의 반송방향에 평행한 사이드프레임 상에 테스트트레이 상의 상기 복수의 디바이스캐리어 횡렬에 대응하는 위치에 일련의 타이밍마크를 가지며, 상기 타이밍검출센서가 상기 일련의 타이밍마크를 검출하는 타이밍과 동기하여 상기 반도체디바이스의 제2검출센서가, 상기 언로우더부에서 상기 로우더부로 반송되는 테스트트레이 상의 디바이스캐리어 중에 반도체디바이스가 남아있는가 여부를 검출하고, 반도체디바이스의 제2검출센서가 상기 테스트부에서 상기 언로우더부를 향하여 반송되는 테스트트레이 상에 빈 반도체디바이스캐리어가 존재하는가 여부를 검출하는 것을 특징으로 하는 반도체디바이스 시험장치.
청구항 7. 제1항에 있어서, 상기 반도체디바이스 시험장치는 반도체디바이스의 제3검출센서와 타이밍검출센서를 더 구비하고, 상기 반도체디바이스의 제3검출센서는, 상기 로우더부에서 상기 테스트부로의 테스트트레이의 반송경로 중에 설치되며, 상기 테스트트레이는 그 위에 상기 복수의 디바이스캐리어를, 테스트트레이의 반송방향과 평행한 방향의 복수의 디바이스캐리어 종렬과, 테스트트레이의 반송방향과 직각인 방향의 복수의 디바이스캐리어 횡렬을 형성하도록 유지하고, 또한, 테스트트레이의 반송방향에 평행한 사이드프레임 상에 테스트트레이 상의 상기 복수의 디바이스캐리어 횡렬에 대응하는 위치에 일련의 타이밍마크를 가지며, 상기 타이밍검출센서가 상기 일련의 타이밍마크를 검출하는 타이밍과 동기하여 상기 반도체디바이스의 제1검출센서가, 상기 언로우더부에서 상기 로우더부로 반송되는 테스트트레이 상의 디바이스캐리어 중에 반도체디바이스가 남아있는가 여부를 검출하고, 반도체디바이스의 제3검출센서가 상기 로우더부에서 상기 테스트부를 향하여 반송되는 테스트트레이 상에 빈 반도체디바이스캐리어가 존재하는가 여부를 검출하는 것을 특징으로 하는 반도체디바이스 시험장치.
청구항 8. 제1항에 있어서, 상기 반도체디바이스 시험장치는 반도체디바이스의 제2검출센서와 반도체디바이스의 제3검출센서와 타이밍검출센서를 더 구비하고, 상기 반도체디바이스의 제2검출센서는, 상기 테스트부에서 상기 언로우더부로의 테스트트레이의 반송경로 중에, 상기 반도체디바이스의 제3검출센서는 상기 로우더부에서 상기 테스트부로의 테스트트레이의 반송경로 중에 각각 설치되며, 상기 테스트트레이는 그 위에 상기 복수의 디바이스캐리어를, 테스트트레이의 반송방향과 평행한 방향의 복수의 디바이스캐리어 종렬과, 테스트트레이의 반송방향과 직각인 방향의 복수의 디바이스캐리어 횡렬을 형성하도록 유지하고, 또한, 테스트트레이의 반송방향에 평행한 사이드프레임 상에 테스트트레이 상의 상기 복수의 디바이스캐리어 횡렬에 대응하는 위치에 일련의 타이밍마크를 가지며, 상기 타이밍검출센서가 상기 일련의 타이밍마크를 검출하는 타이밍과 동기하여 상기 반도체디바이스의 제1검출센서가 상기 언로우더부에서 상기 로우더부로 반송되는 테스트트레이 상의 디바이스캐리어 중에 반도체디바이스가 남아있는가 여부를 검출하고, 반도체디바이스의 제2검출센서가 상기 테스트부에서 상기 언로우더부를 향하여 반송되는 테스트트레이 상에 빈 반도체디바이스캐리어가 존재하는가 여부를 검출하고, 반도체디바이스의 제3검출센서가 상기 로우더부에서 상기 테스트부를 향하여 반송되는 테스트트레이 상에 빈 반도체디바이스캐리어가 존재하는가 여부를 검출하는 것을 특징으로 하는 반도체디바이스 시험장치.
청구항 9. 제1항 내지 제3항 및 제6항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 각 상기 반도체디바이스 검출센서는 복수의 유닛센서를 구비하고, 이들 복수의 유닛센서는 테스트트레이의 이동방향과 직각인 방향으로 일렬로 배열되며, 더욱 각 유닛센서는 테스트트레이 상의 각 반도체디바이스캐리어 종렬에 대응하여 각각 설치되어 있고, 또한 각 유닛센서는 광원과 이 광원으로부터의 광을 검지하는 수광부와의 쌍으로 이루어지며, 디바이스캐리어를 투과하는 투과광을 검출하는 광센서인 것을 특징으로 하는 반도체디바이스 시험장치.
청구항 10. 제1항 내지 제3항 및 제6항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 각 상기 반도체디바이스 검출센서는 복수의 유닛센서를 구비하고, 이들 복수의 유닛센서는 테스트트레이의 이동방향과 직각인 방향으로 일렬로 배열되며, 또한 각 유닛센서는 테스트트레이 상의 각 반도체디바이스캐리어 종렬에 대응하여 각각 설치되어 있고, 상기 타이밍검출센서가 타이밍마크를 검출하는 타이밍과 동기하여 상기 복수의 유닛센서가 이 타이밍마크에 대응한 디바이스캐리어 횡렬의 복수의 디바이스캐리어 내에 반도체디바이스가 탑재되어 있는가 아닌가를 검출하는 것을 특징으로 하는 반도체디바이스 시험장치.
청구항 11. 내지 14. (생략)
청구항 15. 제1항 내지 제3항 및 제6항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 타이밍검출센서는 투과광을 검출하는 광센서이고, 상기 테스트트레이의 프레임에 설치된 상기 타이밍마크는 빛을 투과하는 슬릿이고, 상기 타이밍검출센서는 상기 프레임에 설치된 상기 슬릿을 투과하는 빛을 검출하고, 이 투과광의 검출과 동기하여 상기 반도체디바이스 검출센서로부터 출력되는 검출신호에 의하여, 반도체디바이스의 유무를 판정하는 것을 특징으로 하는 반도체디바이스 시험장치.
청구항 16. 제1항 내지 제3항 및 제6항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 타이밍검출센서는 투과광을 검출하는 광센서이고, 상기 테스트트레이의 프레임에 설치된 상기 타이밍마크는 상기 테스트트레이에 장착되는 반도체디바이스캐리어의 각각에 형성된 빛을 투과하는 위치결정용 핀 삽입구멍이며, 상기 타이밍검출센서는 상기 위치결정용 핀 삽입구멍을 투과하는 빛을 검출하고, 이 투과광의 검출과 동기하여 상기 반도체디바이스 검출센서로부터 출력되는 검출신호에 의하여, 반도체디바이스의 유무를 판정하는 것을 특징으로 하는 반도체디바이스 시험장치.
청구항 17. (생략)
청구항 18. 제9항에 있어서, 상기 각 반도체디바이스 검출센서의 유닛센서는 광원과 수광기로 구성되어 있고, 상기 광원이 테스트트레이의 이동하는 평면의 한쪽 측에 배치되며, 상기 수광기가 상기 테스트트레이의 이동하는 평면의 반대 측에 배치되고, 테스트트레이에 장착되는 각 반도체디바이스캐리어의 바닥부의 중앙부 근방에 관통구멍을 형성하고, 상기 광원으로부터의 빛이 이 관통구멍을 통과하는가의 여부를 상기 수광기로 검출하고, 반도체디바이스의 유무를 판정하는 것을 특징으로 하는 반도체디바이스 시험장치.
청구항 19. 20. (생략)
청구항 21. 테스터부와 핸들러부를 구비하고, 핸들러부의 로우더부로 반송되어 정지 상태에 있는 테스트트레이에 피시험 반도체디바이스를 전송, 탑재하고, 이 테스트트레이를 상기 로우더부로부터 핸들러부의 테스트부로 반송하여 반도체디바이스를 시험하고, 시험 종료 후, 시험을 마친 반도체디바이스를 탑재한 테스트트레이를 상기 테스트부로부터 핸들러부의 언로우더부로 반출하고, 이 언로우더부에 있어서 상기 테스트트레이 상의 시험을 마친 반도체디바이스를 범용트레이에 옮겨쌓고, 빈 것으로 된 테스트트레이를 상기 언로우더부로부터 상기 로우더부로 반송하여 상기 동작을 반복하도록 구성되어 있는 반도체디바이스 시험장치로 테스트트레이 상의 반도체디바이스를 검출하는 방법에 있어서(이하 ‘구성요소 21-1’이라고 한다.), 테스트트레이가 반송되어 있는 사이에, 이 테스트트레이에 그 한쪽 측에서 빛을 조사하여 장착된 복수개의 반도체디바이스캐리어의 각각의 바닥부에 형성된 관통구멍을 통과하는 빛을 검출하는 단계(이하 ‘구성요소 21-2’라고 한다.)와, 상기 테스트트레이의 프레임에, 이 테스트트레이의 이동방향에 관하여 소정의 간격으로 설치된 타이밍마크를 검출하는 단계(이하 ‘구성요소 21-3’이라고 한다.)와, 상기 타이밍마크가 검출되고 있는 사이에, 상기 테스트트레이의 반도체디바이스캐리어에 형성된 관통구멍을 통과하는 빛이 검출되면, 그 반도체디바이스 수납부에는 반도체디바이스가 존재하지 않는다고 판단하고, 상기 테스트트레이의 반도체디바이스캐리어에 형성된 관통구멍을 통과하는 빛이 검출되지 않을 때에는 그 반도체디바이스캐리어에는 반도체디바이스가 존재한다고 판단하는 단계(이하 ‘구성요소 21-4’라고 한다.)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 반도체디바이스 검출방법.
청구항 22. 제1항에 있어서, 알람회로를 더 구비하고, 상기 반도체디바이스의 제1검출센서는 상기 언로우더부에서 상기 로우더부로 반송되는 테스트트레이 상의 디바이스캐리어 중에 반도체디바이스가 남겨져 있는가의 여부를 감시하여 남겨져 있는 반도체디바이스의 존재를 검출할 때에 검출신호를 발생하고, 상기 알람회로는 상기 반도체디바이스의 제1검출센서로부터의 검출신호에 응하여 경보를 발하는 것을 특징으로 하는 반도체디바이스 시험장치.
청구항 23. 제2항에 있어서, 알람회로를 더 구비하고, 상기 반도체디바이스의 제2검출센서는 상기 테스트부에서 상기 언로우더부로 반송되는 테스트트레이 상에 빈 반도체디바이스캐리어가 존재하는가의 여부를 감시하여 존재를 검출할 때에 검출신호를 발생하고, 상기 알람회로는 상기 반도체디바이스의 제2검출센서로부터의 검출신호에 응하여 경보를 발하는 것을 특징으로 하는 반도체디바이스 시험장치.
청구항 24. 제3항에 있어서, 알람회로를 더 구비하고, 상기 반도체디바이스의 제3검출센서는 상기 로우더부에서 상기 테스트부를 향하여 반송되는 테스트트레이 상에 빈 반도체디바이스캐리어가 존재하는가의 여부를 감시하여 존재를 검출할 때에 검출신호를 발생하고, 상기 알람회로는 상기 반도체디바이스의 제3검출센서로부터의 검출신호에 응하여 경보를 발하는 것을 특징으로 하는 반도체디바이스 시험장치.
청구항 25. 제6항에 있어서, 알람회로를 더 구비하고, 상기 반도체디바이스의 제1검출센서는 상기 언로우더부에서 상기 로우더부로 반송되는 테스트트레이 상의 디바이스캐리어 중에 반도체디바이스가 남겨져 있는가의 여부를 감시하여 존재를 검출할 때에 검출신호를 발생하고, 상기 반도체디바이스의 제2검출센서는 상기 테스트부에서 상기 언로우더부로 반송되는 테스트트레이 상에 빈 반도체디바이스캐리어가 존재하는가 여부를 감시하여 존재를 검출할 때에 검출신호를 발생하고, 상기 알람회로는 상기 반도체디바이스의 제1 및 제2검출센서로부터의 검출신호에 응하여 경보를 발하는 것을 특징으로 하는 반도체디바이스 시험장치.
청구항 26. 제7항에 있어서, 알람회로를 더 구비하고, 상기 반도체디바이스의 제1검출센서는 상기 언로우더부에서 상기 로우더부로 반송되는 테스트트레이 상의 디바이스캐리어 중에 반도체디바이스가 남겨져 있는가의 여부를 감시하여 존재를 검출할 때에 검출신호를 발생하고, 상기 반도체디바이스의 제3검출센서는 상기 로우더부에서 상기 테스트부로 반송되는 테스트트레이 상에 빈 반도체디바이스캐리어가 존재하는가 여부를 감시하여 존재를 검출할 때에 검출신호를 발생하고, 상기 알람회로는 상기 반도체디바이스의 제1 및 제3검출센서로부터의 검출신호에 응하여 경보를 발하는 것을 특징으로 하는 반도체디바이스 시험장치.
청구항 27. 제8항에 있어서, 알람회로를 더 구비하고, 상기 반도체디바이스의 제1검출센서는 상기 언로우더부에서 상기 로우더부로 반송되는 테스트트레이 상의 디바이스캐리어중에 반도체디바이스가 남겨져 있는가의 여부를 감시하여 존재를 검출할 때에 검출신호를 발생하고, 상기 반도체디바이스의 제2검출센서는 상기 테스트부에서 상기 언로우더부로 반송되는 테스트트레이 상에 빈 반도체디바이스캐리어가 존재하는가 여부를 감시하여 존재를 검출할 때에 검출신호를 발생하고, 상기 반도체디바이스의 제3검출센서는 상기 로우더부에서 상기 테스트부로 반송되는 테스트트레이 상에 빈 반도체디바이스캐리어가 존재하는가 여부를 감시하여 존재를 검출할 때에 검출신호를 발생하고, 상기 알람회로는 상기 반도체디바이스의 제1, 제2, 및 제3검출센서로부터의 검출신호에 응하여 경보를 발하는 것을 특징으로 하는 반도체디바이스 시험장치.
청구항 28. (생략)
나. 비교대상발명들
(1) 비교대상발명 1{1994. 2. 4. 공개된 일본 공개특허공보(특개평6-27192호), 을 제1호증, 주요 도면은 별지 2.와 같다.}
‘자동 테스트핸들러용 컨택트 어셈블리’에 관한 것으로서, 로더(26), 로드픽앤드플레이스(28), 언로더(30), 소크챔버(34), 테스트헤드(36a, 36b), 언소크챔버(38) 및 두 개의 소트픽앤드플레이스(32a, 32b) 등으로 구성되며, 로더(26)에서 커스터머트레이(42)에 있는 IC 등 전자부품이 테스트트레이(24)로 옮겨지고, 전자부품을 채운 테스트트레이(24)는 소크챔버(34)에서 가열 또는 냉각된 후 테스트헤드(36a, 36b)로 반송되어 필요한 테스트를 거치며, 테스트가 종료되면 테스트트레이(24)는 언소크챔버(38)에서 냉각 또는 가열되어 외부환경과 같은 온도로 맞춰진 후 언로더(30)로 반송되고, 테스트 결과에 따라 전자부품이 분류되어 커스터머트레이(42)로 옮겨지며, 빈 테스트트레이(24)는 다시 로더(26)로 반송되어 앞의 과정을 반복 순환하는 방식으로 작동되는 수평반송방식의 테스트핸들러(20)의 구성이 기재되어 있다. 또한 테스트할 전자부품의 리드를 위한 슬릿과 시트를 포함하고, 전자부품들을 정확하게 나열하는 복수의 캐리어모듈(22)이 테스트트레이(24)에 종렬 및 횡렬로 평행하게 배치되는 구성(도면 5, 6)도 개시되어 있다.
(2) 비교대상발명 2{1992. 11. 4. 공개된 일본 공개특허공보(특개평4-312952호), 을 제2호증, 주요 도면은 별지 3.과 같다.}
‘반도체장치의 제조방법 및 제조장치’에 관한 것으로서, IC 등 반도체장치의 제조공정 중 반제품 상태의 반도체장치를 통일된 외형 치수를 갖는 수납구에 수납하고, 반제품의 반도체장치를 수납구에 수납한 채로 각 처리장치에 집어넣어 필요한 처리를 실시할 수 있도록 하는 반도체장치의 제조방법이 기재되어 있으며, 그 종래기술에 관한 부분에 IC의 제조공정 중 IC가 반제품으로 취급되는 공정의 일례로서 테스트공정을 들고 있고, 테스트공정이 테스트핸들러 및 테스터에 의해 실시된다고 기재되어 있다. 위 반도체장치의 제조방법 중 IC 유무 검출방법은 다음과 같다. IC 수납구가 되는 팔레트(21)에는 IC를 수납하기 위한 복수의 포켓(22)이 형성되고, 팔레트(21)의 측연부에는 각 포켓(22)의 중심선 상에 위치결정용 구멍(23)이 형성되며, 각 포켓(22) 내에는 그 포켓의 중심선 상{팔레트(21)의 길이방향에 대하여 위치결정용 구멍(23)과 동일한 위치}에 IC검출용 구멍(24)이 관통 형성되어, 처리장치 내에 있어서 위치결정용 구멍(23)은 주로 팔레트(21)의 위치결정에 사용되고, IC검출용 구멍(24)은 포켓(22) 내의 IC 유무를 검출하기 위해 사용된다. 처리장치 내에는 팔레트(21)를 재치하고 안내하는 한 쌍의 레일(35)이 고정되고, 레일(35)의 근방에 팔레트(21)를 반송시키기 위한, 별도의 구동장치에 의해 움직이는 반송지그(36)가 배치되며, 반송지그에는 팔레트(21)의 위치결정용 구멍(23)에 끼워 맞추는 핀(37)이 부착되어, 핀(37)이 위치결정용 구멍(23)에 끼워진 상태에서 반송지그(36)를 전후방향으로 움직이면 팔레트(21)가 레일(35)의 길이방향을 따라 반송된다. 레일(35)의 상방 및 하방에는 발광기(40a, 41a, 42a) 및 광검출기(40b, 41b, 42b)가 배치되어, 팔레트(21)의 반송에 따라 위치결정용 구멍(23)이 발광기(40a) 바로 아래에 위치할 때 발광기(40a)로부터 발한 광이 위치결정용 구멍(23)을 통하여 광검출기(40b)에 의해 검출되어 위치결정용 구멍(23)의 위치를 검출할 수 있게 하고, 그 검출 타이밍에 맞추어 동일한 방식으로 발광기(41a, 42a), IC검출용 구멍(24) 및 광검출기(41b, 42b)에 의해 포켓(22) 내의 IC 유무 검출이 실시된다.
다. 절차의 경위
(1) 피고는, 이 사건 특허발명이 비교대상발명 1, 2로부터 용이하게 발명할 수 있는 것이어서 진보성이 없다는 이유로 등록무효심판을 청구하였는데, 특허심판원은 이를 2005당595호로 심리하여 2006. 2. 28. 아래 (2)와 같은 이유로 이 사건 제1항 내지 제10항, 제15항, 제16항, 제18항, 제21항 내지 제27항 발명에 관한 심판청구를 인용하고 나머지 청구항에 관한 심판청구를 기각하는 이 사건 심결을 하였다.
(2) 이 사건 제1항 내지 제10항, 제15항, 제16항, 제18항, 제21항 내지 제27항 발명에 관한 심결이유의 요지
(가) 이 사건 제1항 발명의 전제부 구성은 비교대상발명 1의 순환식 테스트핸들러와 구성 및 기능이 동일하고, 이 사건 제1항 발명의 나머지 구성요소들은 비교대상발명 2의 대응되는 구성과 실질적으로 동일하다. 비교대상발명 2의 종래기술에 관한 부분에 비교대상발명 2가 테스트핸들러에 결합될 수 있음을 시사하는 기재가 있으므로, 당업자가 비교대상발명 2의 기술구성을 비교대상발명 1에 공지된 순환식 테스트핸들러에 용이하게 결합할 수 있고, 반도체디바이스 검출센서를 언로우더부와 로우더부 사이에 결합시키는 등의 설치위치를 직관적으로 인식할 수 있으며, 그로 인한 작용효과도 용이하게 예측할 수 있으므로, 이 사건 제1항 발명은 비교대상발명 1, 2로부터 용이하게 발명할 수 있는 것이어서 진보성이 인정되지 아니한다.
(나) 이 사건 제2항 발명은 반도체디바이스 검출센서를 테스트부와 언로우더부 사이에 설치한 점 외에는 이 사건 제1항 발명과 동일하고, 이 사건 제3항 발명은 반도체디바이스 검출센서를 로우더부와 테스트부 사이에 설치한 점 외에는 이 사건 제1항 발명과 동일한데, 위와 같은 반도체디바이스 검출센서의 설치위치는 당업자가 순환식 테스트핸들러의 경로 중에서 선택하여 설계변경할 수 있는 사항이므로, 이 사건 제2항, 제3항 발명은 이 사건 제1항 발명과 마찬가지로 진보성이 인정되지 아니한다.
(다) 이 사건 제21항 발명의 구성요소 21-1은 비교대상발명 1의 순환식 테스트핸들러의 동작과 구성 및 기능이 동일하고, 이 사건 제21항 발명의 나머지 단계의 구성요소들은 비교대상발명 2의 대응되는 단계의 구성과 동일하며, 테스트트레이에 반도체디바이스가 존재하는지 여부를 검출하는 작용효과도 동일하므로, 이 사건 제21항 발명은 비교대상발명 1, 2로부터 용이하게 발명할 수 있는 것이어서 진보성이 인정되지 아니한다.
(라) 이 사건 제4항 내지 제10항, 제15항, 제16항, 제18항, 제22항 내지 제27항 발명은 이 사건 제1항 내지 제3항 발명, 이 사건 제6항 내지 8항 발명을 한정하거나 부가하여 구체화한 종속항들로서, 한정하거나 부가한 사항의 구성에 기술적 곤란성이 없고, 그로 인한 작용효과도 충분히 예측할 수 있으므로, 진보성이 인정되지 아니한다.
【증거】 갑 제1 내지 3호증, 을 제1, 2호증, 변론 전체의 취지
2. 원고가 주장하는 심결취소사유의 요지
가. 피고는 원고로부터 이 사건 특허발명 중 반도체디바이스 검출센서의 설치위치를 ‘언로우더부와 로우더부 사이’로 하는 이 사건 제1항 발명에 기초하여 원고로부터 침해행위의 금지를 청구받았을 뿐이고, 반도체디바이스 검출센서의 설치위치를 ‘테스트부와 언로우더부 사이’ 또는 ‘로우더부와 테스트부 사이’로 하는 이 사건 제2항, 제3항 발명과 그 종속항에 해당하는 이 사건 제23항, 제24항 발명 및 위 각 실시형태를 포괄하는 반도체디바이스 검출방법에 관한 독립항인 이 사건 제21항 발명에 기초하여서는 원고로부터 권리의 대항을 받은 바 없으며, 또한 장차 권리의 대항을 받을 염려가 있다는 점이 입증되지도 않았으므로, 이 사건 제2항, 제3항, 제21항, 제23항, 제24항 발명에 관한 심판청구는 이해관계 없는 자에 의한 부적법한 청구이어서 각하되어야 한다.
나. 이 사건 제1항 발명은 순환식 테스터핸들러를 대상으로 하는 것인데, 비교대상발명 2에는 순환식 테스트핸들러에의 적용에 관한 아무런 시사도 없고, 비교대상발명 2는 오히려 비순환 방식의 IC 수납도구의 사용을 전제로 한 것이어서, 비교대상발명 2로부터 이 사건 제1항 발명에 이를 만한 동기를 찾을 수 없다. 또한 이 사건 제1항 발명은 순환식 테스트핸들러에 있어서 시험을 마친 반도체디바이스가 비정상적으로 테스트트레이에 남게 되어 반도체디바이스의 오분류를 초래할 수 있다는 문제점에 대한 새로운 인식을 바탕으로, 테스트트레이의 반송경로 중 ‘언로우더부와 로우더부 사이’에 반도체디바이스 검출센서를 설치하는 구성을 최초로 제시함으로써, 로우더부에서 새로운 시험대상인 반도체디바이스를 채우기 전에 테스트트레이가 확실하게 비어있는지를 확인하여 반도체디바이스의 오분류와 같은 테스트핸들러의 신뢰성을 저하시키는 문제를 미연에 방지하는 효과를 달성하는 것인데 비하여, 비교대상발명 2에는 위와 같은 문제점에 대한 인식이 결여되어 있으므로, 그로부터 이 사건 제1항 발명의 위와 같은 구성 및 효과를 도출해 내기 어렵다. 따라서 이 사건 제1항 발명 및 그 종속항인 이 사건 제4항 내지 제10항, 제15항, 제16항, 제18항, 제22항, 제25항 내지 제27항 발명의 진보성이 비교대상발명 1, 2에 의하여 부정될 수 없다.
3. 판단
가. 피고가 이 사건 제2항, 제3항, 제21항, 제23항, 제24항 발명에 관한 무효심판을 청구할 수 있는 이해관계인인지의 여부
(1) 특허무효의 심판을 청구할 수 있는 이해관계인이라 함은 특허의 발명을 실시하여 물품을 제조·판매함을 업으로 하는 자 또는 그 업무의 성질상 당해 특허의 발명을 사용하리라고 추측이 갈 수 있는 자를 말하고, 이러한 이해관계인에는 권리자 등으로부터 그 권리의 대항을 받을 염려가 있으므로 말미암아 현재 업무상 손해를 받거나 후일 손해를 받을 염려가 있는 자도 포함된다( 대법원 1987. 7. 7. 선고 85후46 판결 참조).
(2) 제1항에서 채용한 증거에 의하면, 피고는 순환식 테스트핸들러를 포함한 다양한 반도체 관련 장치의 개발, 제조, 판매 및 서비스를 하는 회사로서, 피고가 제조, 판매하고 있는 순환식 테스트핸들러가 반도체디바이스 검출센서의 설치위치를 ‘언로우더부와 로우더부 사이’로 하는 이 사건 제1항 발명을 침해하고 있다는 이유로, 이 사건 심판청구일 전에 이 사건 특허발명의 특허권자인 원고로부터 특허권 침해금지 등 청구의 소를 제기당한 사실을 인정할 수 있는바, 위 인정사실에 의하면, 피고는 그 업무의 성질에 비추어 볼 때, 반도체디바이스 검출센서의 설치위치를 ‘테스트부와 언로우더부 사이’ 또는 ‘로우더부와 테스트부 사이’로 하는 이 사건 제2항, 제3항 발명과 그 종속항에 해당하는 이 사건 제23항, 제24항 발명 및 위 각 실시형태를 포괄하는 반도체디바이스 검출방법에 관한 독립항인 이 사건 제21항 발명에 관하여도 장차 당해 특허의 발명을 사용하리라고 추측이 갈 수 있는 자에 해당하고, 그럴 경우 특허권자인 원고 등으로부터 권리의 대항을 받을 염려가 있으므로 말미암아 후일 손해를 받을 염려가 있는 자에 해당한다.
(3) 따라서 피고는 이 사건 제2항, 제3항, 제21항, 제23항, 제24항 발명에 관하여도 특허무효의 심판을 청구할 수 있는 적법한 이해관계인이다.
나. 이 사건 제1항 내지 제10항, 제15항, 제16항, 제18항, 제21항 내지 제27항 발명의 진보성 유무
(1) 이 사건 제1항 발명
(가) 구성의 대비
① 전제부 구성
이 사건 제1항 발명의 전제부 구성은 비교대상발명 1의, 로더(26), 언로더(30), 테스트헤드(36a, 36b), 복수의 테스트트레이(24) 등으로 구성되며, 로더(26)에서 커스터머트레이(42)에 있는 IC 등 전자부품이 테스트트레이(24)로 옮겨지고, 전자부품을 채운 테스트트레이(24)는 테스트헤드(36a, 36b)로 반송되어 전자부품들이 필요한 테스트를 거치며, 테스트가 종료되면 테스트트레이(24)는 언로더(30)로 반송되고, 테스트 결과에 따라 전자부품이 분류되어 커스터머트레이(42)로 옮겨지며, 빈 테스트트레이(24)는 다시 로더(26)로 반송되어 앞의 과정을 반복 순환하는 방식으로 작동되는 테스트핸들러(20)의 구성과 동일하다.
② 구성요소 1
이 사건 제1항 발명의 구성요소 1은 비교대상발명 2의, IC 등 반도체장치의 제조방법 및 제조장치에 있어서 반도체장치의 유무를 검출하는 검출센서인 발광기(41a, 42a) 및 광검출기(41b, 42b)와 위치를 검출하여 타이밍을 맞추게 하는 발광기(40a) 및 광검출기(40b)가 복수의 포켓(22)에 IC를 수납한 팔레트(21)의 반송경로 중에 설치되는 구성에 대응되는바, 양 구성은 모두 반도체디바이스와 타이밍을 검출하는 센서를 구비하여 테스트트레이 또는 팔레트 내의 반도체디바이스의 유무를 검출한다는 점에서 기능 및 효과가 같으나, 이 사건 제1항 발명의 구성요소 1에서는 각 센서가 순환식 테스트핸들러의 테스트트레이 반송경로 중 ‘언로우더부와 로우더부 사이’에 설치되는 것으로 한정하고 있는데 비하여, 비교대상발명 2의 대응되는 구성은 반도체장치의 제조공정 중 팔레트(21)의 반송경로에 설치되는 것으로 한정할 뿐이어서 그 설치위치가 구체적으로 특정되지 않은 차이가 있다.
그런데 비교대상발명 2는 IC 등 반도체장치의 제조공정 중 반제품 상태의 반도체장치를 통일된 외형 치수를 갖는 수납구에 수납하고, 반제품의 반도체장치를 수납구에 수납한 채로 각 처리장치에 집어넣어 필요한 처리를 실시할 수 있도록 하는 반도체장치의 제조방법으로서, 그 종래기술에 관한 부분에 IC의 제조공정 중 IC가 반제품으로 취급되는 공정의 일례로서 테스트공정을 들고 있고, 테스트공정이 테스트핸들러 및 테스터에 의해 실시된다고 기재되어 있으므로, 당업자라면 위와 같은 시사점에서 출발하여 비교대상발명 2의 반도체디바이스와 타이밍을 검출하는 센서인 발광기(40a, 41a, 42a) 및 광검출기(40b, 41b, 42b)를 비교대상발명 1에 공지되어 있는 순환식 테스트핸들러에 용이하게 결합할 수 있다(원고가 주장하는 바와 같이 비교대상발명 2에 ‘순환식’ 테스트핸들러에의 적용에 관하여 구체적인 개시나 시사가 있어야만 그와 같은 결합이 용이하다고 할 수 없고, 비교대상발명 2가 비순환 방식의 반도체장치 제조방법 또는 제조장치만을 전제로 한다고 단정할 수도 없다.).
나아가 비교대상발명 1의 순환식 테스트핸들러는 전제부 구성에 관한 대비 부분에서 본 바와 같이 로더(26), 언로더(30), 테스트헤드(36a, 36b) 등으로 구성되므로, 비교대상발명 2의 반도체디바이스와 타이밍을 검출하는 센서인 발광기(40a, 41a, 42a) 및 광검출기(40b, 41b, 42b)를 비교대상발명 1에 공지되어 있는 순환식 테스트핸들러에 결합하려는 동기와 시사를 얻은 당업자라면, 그 적절한 설치위치로 언로더(30)와 로더(26) 사이, 로더(26)와 테스트헤드(36a, 36b) 사이, 테스트헤드(36a, 36b)와 언로더(30) 사이 등이 있음을 직관적으로 인식할 수 있고, 그 설치위치에 따라 테스트트레이 내부의 반도체디바이스 존재 유무를 검출하는 효과가 달라진다는 점도 용이하게 생각해 낼 수 있다.
특히 비교대상발명 1의 순환식 테스트핸들러에 있어서 언로더(30)에서 로더(26)에 이르는 경로는 육안으로 관찰이 가능한 상부의 개방된 부위에 위치하므로(이 사건 특허발명도 같다.), 당업자라면 시험을 마친 반도체디바이스가 언로더(30)에서 반출되지 않고 비정상적으로 테스트트레이에 남은 상태로 로더(26)로 반송되는 현상을 쉽게 발견하고, 그런 현상으로 인하여 반도체디바이스가 테스트트레이에 이중으로 탑재됨으로써 반도체디바이스의 오분류를 초래할 수 있는 문제점을 어렵지 않게 인식할 수 있으며, 만일 반도체디바이스가 테스트트레이에 이중으로 탑재되었다가 반송 중 낙하하여 파손되거나 반송장치 등에 간섭하는 사고가 발생하는 경우라면 위와 같은 현상과 문제점을 더욱 용이하게 발견해 낼 수 있을 것이다.
따라서 비교대상발명 1과 같은 순환식 테스트핸들러에 있어서 위와 같은 문제점을 인식한 당업자라면 비교대상발명 2의 발광기(40a, 41a, 42a) 및 광검출기(40b, 41b, 42b)의 구성을 비교대상발명 1의 순환식 테스트핸들러의 테스트트레이 반송경로 중 ‘언로더(30)와 로더(26) 사이’에 설치하여, 반도체디바이스가 커스터머트레이로 옮겨지지 않고 비정상적으로 테스트트레이에 남은 채 로더(26)로 이송되는 것을 검출함으로써 반도체디바이스의 오분류와 같은 문제를 방지할 수 있을 것이므로, 이 사건 제1항 발명의 구성요소 1은 비교대상발명 1, 2의 결합으로부터 용이하게 도출된다.
③ 구성요소 2
이 사건 제1항 발명의 구성요소 2는 비교대상발명 1의, 테스트할 전자부품의 리드를 위한 슬릿과 시트를 포함하고, 전자부품들을 정확하게 나열하는 복수의 캐리어모듈(22)이 테스트트레이(24)에 종렬 및 횡렬로 평행하게 배치되는 구성과 동일하고, 비교대상발명 2의 반도체장치를 수납하는 복수의 포켓(22)이 종렬 및 횡렬로 평행하게 배치된 팔레트(21)의 구성과도 별다른 차이가 없다{이 사건 제1항 발명의 구성요소 2는 디바이스캐리어(16)가 테스트트레이에 탈부착될 수 있는 것인데 비하여 비교대상발명 2의 포켓(22)은 팔레트(21)에 일체로 형성된 오목부라는 차이는 있으나, 반도체디바이스를 수용하고 위치를 고정하는 역할을 수행한다는 점에서 기능 및 효과가 동일하므로 단순한 설계변경에 해당한다}.
④ 구성요소 3
이 사건 제1항 발명의 구성요소 3은 비교대상발명 2에서 팔레트(21)의 반송방향에 평행한 측연부의 각 포켓(22) 중심선에 대응하는 곳에 위치결정용 구멍(23)이 형성되는 구성에 대응되는데, 타이밍마크(503) 또는 위치결정용 구멍(23)의 차이는 단순한 설계변경을 통하여 용이하게 선택할 수 있는 수단이고, 양 구성은 반도체디바이스를 반송하는 테스트트레이 또는 팔레트에 타이밍마크(503) 또는 위치결정용 구멍(23)을 형성하여 테스트트레이 또는 팔레트의 위치를 파악하고 그와 같은 타이밍에 반도체디바이스의 유무를 검출할 수 있게 한다는 점에서 그 기능 및 효과가 동일하다.
⑤ 구성요소 4
이 사건 제1항 발명의 구성요소 4는 비교대상발명 2에서 팔레트의 위치결정용 구멍(23)이 발광기(40a) 바로 아래에 위치할 때 발광기(40a)로부터 발한 광이 위치결정용 구멍(23)을 통하여 광검출기(40b)에 의해 검출되어 위치결정용 구멍(23)의 위치를 검출할 수 있게 하고, 그 검출 타이밍에 맞추어 동일한 방식으로 발광기(41a, 42a)와 IC검출용 구멍(24) 및 광검출기(41b, 42b)에 의해 포켓(22) 내의 IC 유무 검출이 실시되는 구성에 대응되는데, 이 사건 제1항 발명의 구성요소 2에서 검출센서의 설치위치가 ‘언로우더부와 로우더부 사이’로 한정된 점 등의 차이는 앞에서 본 바와 같이 비교대상발명 1, 2의 결합으로부터 용이하게 도출되는 것이고, 위 차이점을 제외한 나머지 구성은 타이밍마크(503) 또는 위치결정용 구멍(23)을 통해 타이밍을 검출하는 것과 동기하여 제1검출센서 또는 발광기(41a, 42a), IC검출용 구멍(24) 및 광검출기(41b, 42b)에 의하여 반도체디바이스가 테스트트레이 또는 팔레트에 남아있는지 여부를 검출하는 것이므로 단순한 설계변경에 해당한다.
(나) 목적 및 작용효과의 대비
위 구성요소 1에 관한 대비 부분에서 본 바와 같이, 비교대상발명 2의 발광기(40a, 41a, 42a) 및 광검출기(40b, 41b, 42b)의 구성을 비교대상발명 1의 순환식 테스트핸들러의 테스트트레이 반송경로 중 ‘언로더(30)와 로더(26) 사이’에 설치하여, 반도체디바이스가 커스터머트레이로 옮겨지지 않고 비정상적으로 테스트트레이에 남은 채 로더(26)로 이송되는 것을 검출함으로써 반도체디바이스의 오분류와 같은 문제를 방지할 수 있다는 이 사건 제1항 발명의 목적 및 작용효과는 비교대상발명 1, 2의 결합으로부터 용이하게 도출된다.
(다) 대비결과의 정리
이 사건 제1항 발명은 비교대상발명 2의 대응되는 구성들을 비교대상발명 1과 같은 순환식 테스트핸들러의 테스트트레이 반송경로 중 ‘언로더(30)와 로더(26) 사이’에 설치하는 방법으로 용이하게 발명할 수 있고, 이 사건 제1항 발명의 목적 및 작용효과 또한 위 비교대상발명들의 결합으로부터 용이하게 도출해 낼 수 있으므로, 이 사건 제1항 발명은 비교대상발명 1, 2에 의하여 진보성이 인정되지 아니한다.
(2) 이 사건 제2항, 제3항 발명
이 사건 제2항 발명에서는 반도체디바이스 검출센서와 타이밍검출센서가 ‘테스트부와 언로우더부 사이’에 설치되고, 이 사건 제3항 발명에서는 반도체디바이스 검출센서와 타이밍검출센서가 ‘로우더부와 테스트부 사이’에 설치되어 반송되는 테스트트레이 상에 비어 있는 반도체디바이스 캐리어가 존재하는가 여부를 검출하는 점에서, 반도체디바이스 검출센서와 타이밍검출센서가 ‘언로우더부와 로우더부 사이’에 설치되어 반송되는 테스트트레이 상에 반도체디바이스가 존재하는가 여부를 검출하는 이 사건 제1항 발명과 차이가 있고, 이 사건 제2항, 제3항 발명의 나머지 구성은 이 사건 제1항 발명과 동일한 바, 이 사건 제1항 발명에 관한 부분에서 살펴 본 바와 같이 당업자라면 비교대상발명 2에서 반도체디바이스 검출센서와 타이밍검출센서에 해당하는 발광기(40a, 41a, 42a) 및 광검출기(40b, 41b, 42b)의 구성을 비교대상발명 1에 공지되어 있는 순환식 테스트핸들러의 테스트트레이 반송경로에 용이하게 결합할 수 있으므로, 나아가 단순한 설계변경을 통하여 그 설치위치를 ‘테스트부와 언로우더부 사이’ 또는 ‘로우더부와 테스트부 사이’로 변경할 수 있고, 이를 통해 반송되는 테스트트레이 상에 비어 있는 반도체디바이스 캐리어가 존재하는지 여부를 검출함으로써 시험을 마친 반도체디바이스가 테스트트레이로부터 떨어지는 현상 등으로 초래될 수 있는 테스트핸들러의 오동작을 방지하고 테스트트레이의 빈 공간에 대한 테스트를 생략하는 등의 새로운 작용효과를 얻을 수 있음을 용이하게 예측할 수 있을 것이므로, 이 사건 제2항, 제3항 발명도 비교대상발명 1, 2에 의하여 진보성이 인정되지 아니한다.
(3) 이 사건 제4항 발명
이 사건 제4항 발명은 이 사건 제1항 내지 제3항 발명의 종속항으로서, 핸들러부를 봉 형상의 매거진과 범용트레이를 겸용으로 사용할 수 있는 것으로 한정한 것이나, 이 사건 특허발명의 명세서(갑 제2호증) 중 발명의 상세한 설명의 기술적 과제 부분에 “상기 결점은 단면 거의 직사각형의 통체인 봉 형상의 매거진이라고 부르는 IC수납용기에 수납되는 IC에서도, 범용트레이에 수납되는 IC에서도, 테스트트레이에 바꾸어 쌓아져서 테스트부에 반송하여 시험하고, 시험결과의 데이터에 근거하여 여러 종류의 처리를 행하도록 구성되어 있는 매거진·트레이 겸용형의 핸들러(예컨대, 일본 특원평 6-171911호 참조)를 사용한 경우에도 똑같이 발생한다.”고 기재되어 있는 바와 같이, 봉 형상의 매거진과 범용트레이를 겸용으로 사용할 수 있는 핸들러부는 이 사건 특허발명의 우선권 주장일 이전에 이미 공지된 기술임을 알 수 있으므로, 이 사건 제4항 발명은 비교대상발명 1, 2 및 위 공지기술에 의하여 진보성이 인정되지 아니한다.
(4) 이 사건 제5항 발명
이 사건 제5항 발명은 이 사건 제1항 내지 제3항 발명의 종속항으로서, 핸들러부를 수평반송방식이라 칭해지는 핸들러로 한정한 것이나, 위 한정된 구성은 비교대상발명 1에서 순환식 테스트핸들러가 수평반송방식으로 되어 있는 부분의 구성과 동일하므로, 이 사건 제5항 발명도 비교대상발명 1, 2에 의하여 진보성이 인정되지 아니한다.
(5) 이 사건 제6항 내지 제8항 발명
이 사건 제6항 내지 제8항 발명은 이 사건 제1항 발명의 종속항으로서, 반도체디바이스의 제2검출센서와 타이밍검출센서를 ‘테스트부에서 언로우더부로의’ 테스트트레이 반송경로 중에 더 구비하거나(이 사건 제6항 발명), 반도체디바이스의 제3검출센서와 타이밍검출센서를 ‘로우더부에서 테스트부로의’ 테스트트레이 반송경로 중에 더 구비하거나(이 사건 제7항 발명), 위 2가지를 모두 추가로 구비하는 것(이 사건 제8항 발명)을 부가한 것인바, 당업자라면 단순한 설계변경을 통하여 반도체디바이스 검출센서와 타이밍검출센서를 ‘언로우더부와 로우더부 사이’ 이외에 ‘테스트부와 언로우더부 사이’ 또는 ‘로우더부와 테스트부 사이’에 추가로 설치할 수 있고, 그럼으로써 이 사건 제2항, 제3항 발명에 관한 부분에서 본 바와 같은 작용효과를 추가로 얻을 수 있음을 용이하게 예측할 수 있을 것이므로, 이 사건 제6항 내지 제8항 발명도 비교대상발명 1, 2에 의하여 진보성이 인정되지 아니한다.
(6) 이 사건 제9항 발명
이 사건 제9항 발명은 이 사건 제1항 내지 제3항 및 제6항 내지 제8항 발명의 종속항으로서, 이 사건 제9항 발명에서 반도체디바이스 검출센서를 한정하여 구체화한 구성은 비교대상발명 2에서 포켓(22) 내의 IC 유무를 검출하는 복수의 발광기(41a, 42a) 및 광검출기(41b, 42b)가 팔레트(21)의 반송방향과 직각으로, 포켓(22)의 종렬에 대응하여 설치된 구성과 별다른 차이가 없으므로, 이 사건 제9항 발명은 비교대상발명 1, 2에 의하여 진보성이 인정되지 아니한다.
(7) 이 사건 제10항 발명
이 사건 제10항 발명은 이 사건 제1항 내지 제3항 및 제6항 내지 제8항 발명의 종속항으로서, 이 사건 제10항 발명에서 한정하여 구체화한 구성은 비교대상발명 2에서 포켓(22) 내의 IC 유무를 검출하는 복수의 발광기(41a, 42a) 및 광검출기(41b, 42b)가 팔레트(21)의 반송방향과 직각으로, 포켓(22)의 종렬에 대응하여 설치되어 있고, 타이밍검출센서에 해당하는 발광기(40a) 및 광검출기(40b)가 검출하는 타이밍과 동기하여 이 위치결정용 구멍(23)에 대응한 횡렬의 포켓(22) 내의 반도체디바이스 유무를 검출하는 구성과 차이가 없으므로, 이 사건 제10항 발명도 비교대상발명 1, 2에 의하여 진보성이 인정되지 아니한다.
(8) 이 사건 제15항, 제16항 발명
이 사건 제15항, 제16항 발명은 이 사건 제1항 내지 제3항 및 제6항 내지 제8항 발명의 종속항으로서, 타이밍마크를 빛을 투과하는 슬릿 또는 위치결정용 핀 삽입구멍으로 한정한 것이나, 타이밍마크의 용도와 기능에 비추어 볼 때 위와 같은 구성은 당연히 도출되는 것이고, 비교대상발명 2에서 광검출기(40b)가 위치결정용 구멍(23)을 통과하는 빛을 검출하는 구성과도 차이가 없으므로, 이 사건 제15항, 제16항 발명은 비교대상발명 1, 2에 의하여 진보성이 인정되지 아니한다.
(9) 이 사건 제18항 발명
이 사건 제18항 발명은 이 사건 제9항 발명의 종속항으로서, 이 사건 제18항 발명에서 한정한 구성은 비교대상발명 2에서 포켓(22) 내의 IC 유무를 검출하는 복수의 발광기(41a, 42a) 및 광검출기(41b, 42b)가 팔레트(21)의 양쪽에 각각 배치되고 팔레트(21)의 포켓(22) 바닥 중앙부에 IC검출용 구멍(24)을 형성하여 발광기(41a, 42a)의 빛이 IC검출용 구멍(24)을 통해 광검출기(41b, 42b)에 검출되는지 여부를 검출하여 반도체디바이스의 유무를 판정하는 구성과 동일하므로, 이 사건 제18항 발명은 비교대상발명 1, 2에 의하여 진보성이 인정되지 아니한다.
(10) 이 사건 제21항 발명
(가) 구성요소 21-1
이 사건 제21항 발명의 구성요소 21-1은 전제부 구성으로서, 비교대상발명 1의 순환식 테스트핸들러에 있어서, 로더(26)에서 커스터머트레이(42)에 있는 IC 등 전자부품이 테스트트레이(24)로 옮겨지고, 전자부품을 채운 테스트트레이(24)가 테스트헤드(36a, 36b)로 반송되어 필요한 테스트를 거치며, 테스트가 종료되면 테스트트레이(24)는 언로더(30)로 반송되고, 테스트 결과에 따라 전자부품이 분류되어 커스터머트레이(42)로 옮겨지며, 빈 테스트트레이(24)는 다시 로더(26)로 반송되어 앞의 과정을 반복 순환하는 방식으로 구성되는 것과 동일하다.
(나) 구성요소 21-2
이 사건 제21항 발명의 구성요소 21-2는 비교대상발명 2에서 반도체디바이스가 적재된 팔레트(21)가 반송되고 있는 사이에 이 팔레트(21)의 한쪽 측에 있는 발광기(41a, 42a)에서 빛을 조사하여 팔레트의 포켓(22) 바닥부에 형성된 IC검출용 구멍(24)을 통과하는 빛을 광검출기(41b, 42b)에서 검출하는 단계와 동일하다.
(다) 구성요소 21-3
이 사건 제21항 발명의 구성요소 21-3은 비교대상발명 2에서 팔레트(21)의 측연부에 각 포켓(22)의 중심선 상을 따라 형성된 위치결정용 구멍(23)을 발광기(40a)와 광검출기(40b)에 의해 검출하는 단계와 차이가 없고, 앞에서 본 바와 같이 타이밍마크(503) 또는 위치결정용 구멍(23)은 단순한 설계변경을 통하여 용이하게 선택할 수 있는 수단이다.
(라) 구성요소 21-4
이 사건 제21항 발명의 구성요소 21-4는 비교대상발명 2에서 팔레트(21)의 반송에 따라 팔레트의 위치결정용 구멍(23)이 발광기(40a) 바로 아래에 위치할 때 발광기(40a)로부터 발한 광이 위치결정용 구멍(23)을 통하여 광검출기(40b)에 의해 검출되어 위치결정용 구멍(23)의 위치를 검출할 수 있게 하고, 그 검출 타이밍에 맞추어 동일한 방식으로 발광기(41a, 42a), IC검출용 구멍(24) 및 광검출기(41b, 42b)에 의해 포켓(22) 내의 IC 유무를 검출하는 단계와 동일하다.
(마) 대비결과의 정리
이 사건 제21항 발명은 이 사건 제1항 발명 등의 반도체디바이스 시험장치를 사용하여 반도체디바이스의 존재, 부존재 여부를 검출하는 방법에 관한 발명으로서, 구성요소 21-1은 비교대상발명 1의 순환식 테스트핸들러의 구성과 동일하고, 이 사건 제21항 발명의 나머지 구성요소들은 비교대상발명 2의 대응되는 구성들과 차이가 없으며, 위 나. (1) (가) ②에서 본 바와 같이 비교대상발명 1과 2를 용이하게 결합할 수 있고, 이 사건 제21항 발명의 목적 및 작용효과도 위 비교대상발명들의 결합으로부터 용이하게 도출해 낼 수 있으므로, 이 사건 제21항 발명은 비교대상발명 1, 2에 의하여 진보성이 인정되지 아니한다.
(11) 이 사건 제22항 내지 제27항 발명
이 사건 제22항 내지 제27항 발명은 이 사건 제1항 내지 제3항, 제6항 내지 제8항 발명의 종속항으로서, 이 사건 제1항 내지 제3항, 제6항 내지 제8항 발명에 알람회로를 더 구비하여 반도체디바이스 검출센서에서 테스트트레이 상에 반도체디바이스가 남겨져 있거나 빈 반도체디바이스 캐리어가 존재하는 것을 검출할 때 알람회로가 그 검출신호에 응하여 경보를 발하는 것을 부가한 것인바, 비록 비교대상발명 2에 포켓(22) 내의 IC 유무 검출에 따라 경보를 발한다는 내용이 명시적으로 기재되어 있지 않으나, 당업자라면 IC가 포켓(22)에 비정상적으로 있거나 없는 것을 검출할 경우 검출신호에 응하여 경보를 발하도록 주지·관용의 기술수단에 해당하는 알람회로의 구성을 추가하는 것을 용이하게 생각해 낼 수 있고, 위와 같은 구성을 부가하는데 곤란성이 있다거나 작용효과에 현저성이 있다고 볼 수 없으므로, 이 사건 제22항 내지 제27항 발명은 비교대상발명 1, 2에 의하여 진보성이 인정되지 아니한다.
다. 소결론
피고는 이 사건 제2항, 제3항, 제21항, 제23항, 제24항 발명에 관한 특허무효의 심판을 청구할 수 있는 적법한 이해관계인에 해당하고, 이 사건 제1항 내지 제10항, 제15항, 제16항, 제18항, 제21항 내지 제27항 발명은 진보성이 인정되지 아니하므로 그 등록이 무효로 되어야 하는바, 이와 결론을 같이 한 이 사건 심결은 정당하다.
4. 결론
그렇다면 이 사건 심결 가운데 이 사건 제1항 내지 제10항, 제15항, 제16항, 제18항, 제21항 내지 제27항 발명에 관한 부분의 취소를 구하는 원고의 청구는 이유 없으므로 이를 기각하기로 하여 주문과 같이 판결한다.
[별지 1, 2, 3 도면 생략]