1. 원고들의 청구를 모두 기각한다.

2. 소송비용은 원고들이 부담한다.

1. 기초사실

가. 이 사건 심결의 경위 1) 원고들은 2015. 12. 2. 특허심판원 2015당5458호로 피고를 상대로 “이 사건 특허발명의 청구항 제1 내지 5항 및 제15항은 자연법칙에 위배되어 특허를 받을 수 없는 것이거나 선행발명 1, 2, 3, 7의 결합에 의하여 그 진보성이 부정되므로, 그 특허등록이 무효이다.”라고 주장하면서 이 사건 특허발명에 대하여 등록무효심판을 청구하였는데, 위 무효심판절차에서 피고는 2016. 2. 11. 이 사건 특허발명의 청구항 제1항 및 제15항을 아래 나.4)항 기재와 같이 정정하는 내용의 정정청구를 하였다

(이하 ‘이 사건 정정청구’라 한다). 2) 특허심판원은 2016. 11. 18. 이 사건 정정청구를 적법하다고 보아 이를 인정하고, “이 사건 특허발명은 자연법칙에 위배되지 않으며, 정정된 이 사건 특허발명의 청구항 제1 내지 5항 및 제15항은 선행발명들에 의해 그 진보성이 부정되지 않는다.”는 이유로 원고들의 무효심판청구를 기각하는 이 사건 심결을 하였다. 나. 이 사건 특허발명 1) 발명의 명칭: 셀프 플라즈마 챔버의 오염 방지 장치 및 방법 2) 출원일/ 등록일/ 등록번호: 2008. 7. 29./ 2009. 6. 22./ 제905128호 3) 특허권자: 피고 4) 청구범위 【청구항 1 공정 챔버의 배기관과 연결되고, 상기 공정 챔버 내의 가스를 인입시켜 플라즈마 상태로 만드는 공간을 형성하는 셀프 플라즈마 챔버의 오염 방지 장치에 있어서, 상기 공정 챔버로부터 인입된 오염 유발 물질이 셀프 플라즈마 챔버의 윈도우로 향하는 직선 경로에서 벗어나도록 전자기장을 발생시키는 전자기장 발생부; 및 상기 셀프 플라즈마 챔버로부터의 광신호가 직선 경로를 통해 상기 윈도우에 도달할 수 있도록 중앙에 관통공이 형성된, 상기 발생된 전자기장에 의해...