1. 원고의 청구를 기각한다.

2. 소송비용은 원고가 부담한다.

... 내의 가스의 온도는 온도 프로브(20)를 이용하여 측정될 수 있다.

그러나 저압 적용 및 빠른 온도 과도현상에 대해, 정확한 판독을 위해서는 충분히 빠르지 않을 수 있다.

저압 적용 및 빠른 온도 과도현상의 경우, 가스 온도를 추정하는 실시간 물리적 모델이 아래에 설명된 바와 같이 이용될 수 있다.

출구 유동(Qout)은 다음과 같이 추정될 수 있다

: Qout=-(V/ρSTP)[(1/RT)(dρ/dt)-(P/RT2)(dT/dt)] (4) 각 펄스 동안 챔버(12)로부터 전달된 총 질량(Δm)을 계산하기 위해, 도 1의 온도 프로브(20)를 이용하는 것과는 대조적으로 식(3)의 Qout을 식(4)에 대입하여 챔버(12) 내의 시간=t에서의 가스 온도 T(t)를 계산한다.

압력 변환기(18)는 시간=t에서 챔버(12) 내에 압력 P(t)를 제공한다.

시간 t0와 시간 t* 사이에서 챔버(12)로부터 전달된 총 질량(Δm)은 다음과 같다

: Δm=m(t0)-m(t*)=V/R [(P(t0)/T(t0))-P(t*)/T(t*))] (5)(문단번호 [0038]~[0048]) 2) 선행발명 2(갑 제5호증) 선행발명 2는 2005. 7. 5 미국특허공보 제6913031호에 게재된 ‘펄스 타입의 가스 흐름 제어장치 및 제어방법’에 관한 것으로 주요 내용 및 도면은 다음과 같다.

[기술 분야] 본 발명은 가스의 용적 유동을 제어하기 위한 펄스 샷 타입 유동 제어기 및 펄스 샷 타입 유동 제어 방법에 관한 것이다

(컬럼 1의 ‘기술분야’). [기술 내용] 본 발명은 펄스 샷 타입이라 불리는 새로운 타입을 이용함으로써 종래의 제한으로부터 해제되는 유동 제어기 및 유동 제어 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

도 1: 펄스 샷 타입 유동 제어기의 일반적인 개관 도 1은 펄스 샷 타입 유동 제어기(1)의 일반적인 개관을 도시한다.

펄스 샷 타입 유동 제어기(1)는 수동 밸브(11), 제1차단 밸브(12), 가스 충전 용량(13), 압력 센서(14), 온도 센서(15),...