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주문
1. 특허심판원이 2012. 9. 28. 2009당995호 사건에 관하여 한 심결을 취소한다.
2. 소송비용은...
이유
... 발명의 실시예 9를 양 발명의 비교예 3과 각각 비교하여 양 발명의 효과를 대비하는 것은, 실험환경 및 연마조건이 상이하거나, 그 기준이 상이한 상태에서 대비하는 것이어서 이를 통한 효과 대비는 부적절하다고 주장한다.
그러나 다음과 같은 사정을 감안하면 피고의 주장은 이유 없다.
① 이 사건 제1항 정정발명의 명세서에는 실험환경 및 연마조건에 관하여 ‘두께 1㎛인 필터를 사용하여 여과시킨 후 아래의 조건에서 2분 동안 연마시켰다. 이후 연마 결과 형성된 피연마재료의 두께변화를 통하여 연마성능, 즉 연마속도, 평탄성 및 μ-스크래치 발생수를 측정하였다.‘(갑 제4호증 중 21면 식별번호 [0033])라고 기재되어 있고, 연마조건 및 물성평가방법에 관하여 ’[연마조건] * 패드 타입: IC1000/SubaIV Stack형(Rodel社), * 평삭반(platen) 및 퀼(quill) 속도: 120rpm, * 압력: 6psi, * 배경 압력(back pressure): 0psi, * 온도: 25℃, * 슬러리 유속: 150㎖/min, * 연마기 Model: 6EC(STRASBAUGH社), [물성평가방법] * KLA(TENCOR社)를 사용하여 μ-스크래치 발생수를 측정하였다.‘(갑 제4호증 중 24면 식별번호 [0055]~[0064]) 라고 기재되어 있다.
한편 비교대상발명 2의 명세서에도 ’1㎛ 데스필터(Depth filter)를 사용하여 필터링 후 아래와 같은 조건에서 2분간 연마하여 연마에 의해 제거된 두께변화로부터 연마속도를 측정하였으며, KLA(TENCOR社) 기기를 이용하여 μ-스크래치 발생수를 측정하였다. 결과를 표 1에 나타내었다. [연마기 Model] 6EC(STRASBAUGH社), [연마조건] - Pad type: IC1000/SubaⅣ Stacked(Rodel社), - Platen Speed: 120rpm, - Quill Speed: 120rpm, - Pressure: 6psi, - Back Pressure: 0psi, - 온도: 25℃, - Slurry flow: 150㎖/min‘ 갑 제6호증 중 4면 '실시예'6~17행 라고 기재되어 있다.
그런데 위 각 기재내용을...