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주문
1. 원고의 청구를 기각한다.
2. 소송비용은 원고가 부담한다.
이유
1. 기초사실
가. 이 사건 특허발명(갑 제2호증) 1) 발명의 명칭: 유기아미노실란 아미노(amino)는 질소(N)를 말하고, 실란(silane)은 규소(Si)를 포함하는 -SiHn을 말한다. 전구체 전구체(前驅體, precursor)는 일련의 반응과정에서 특정 물질보다 앞 단계에 있는 물질을 말한다. 로부터 산화규소 막을 형성시키는 방법 2) 출원일/ 우선권주장일/ 등록일/ 등록번호: 2007. 5. 16./ 2006. 5. 23./ 2009. 6. 12./ 특허 제903916호 3) 특허권자: 원고 4) 특허청구범위: 별지 1과 같다.
나. 비교대상발명들 1) 비교대상발명 1(갑 제5호증) 비교대상발명 1은 1994. 5. 13. 공개된 일본 공개특허공보 특개평6-132276호에 게재된 ‘반도체막 형성방법(半導膜形成方法)’에 관한 것으로서, 그 주요 내용은 별지 2 제1항과 같다. 2) 비교대상발명 2(갑 제6호증) 비교대상발명 2는 2005. 2. 23. 공개된 대한민국 공개특허공보 제2005-18641호에 게재된 ‘아미노실란 및 오존을 이용한 저온 유전체 유전체(誘電體, dielectric substance)는 정전기장을 가할 때 전기편극은 생기지만 직류전류는 생기지 않게 하는 물질을 말한다. 증착’에 관한 것으로서, 그 주요 내용은 별지 2 제2항과 같다.
3) 비교대상발명 3(을 제2호증) 비교대상발명 3은 2004. 11. 4. 공개된 미국 공개특허공보 US 2004/0219746 A1에 게재된 ‘금속 산화막을 형성하는 시스템 및 방법(Systems and methods for forming metal oxide layers)’에 관한 것이다. 다. 이 사건 심결의 경위 1) 피고는 2012. 9. 12. 특허권자인 원고를 상대로 하여 특허심판원에 이 사건 특허발명은 비교대상발명 1에 의해 신규성이 부정되거나 비교대상발명 1 또는 비교대상발명 1, 2의 결합에 의해 진보성이 부정된다고 주장하면서 등록무효심판(2012당2398호)을 청구하였다.
2 원고는 위 심판절차가...