1. 원고의 청구를 기각한다.

2. 소송비용은 원고가 부담한다.

1. 전제되는 사실

가. 원고의 특허발명 1) 이 사건 제1 특허발명 명칭: 박막증착장치 및 방법, 그리고 박막증착장치용 챔버 출원일/등록일/등록번호: 2003. 8. 8./2005. 10. 27./제10-0526009호 특허권자: 원고 청구범위 [청구항 1] 박막증착 대상체와 소정의 이격간격을 두고 상기 대상체의 상부 대기 중에 배치되는 챔버(이하 ‘구성 A')와; 상기 챔버를 통해 상기 대상체로 소정의 메탈입자를 공급하는 메탈공급부(이하 ’구성 B')와; 상기 챔버에 마련되어 상기 메탈공급부에서 공급되는 상기 메탈입자를 상기 대상체로 전달하는 메탈유로(이하 ‘구성 C')와; 고압가스공급부(이하 ’구성 D')와; 상기 메탈유로를 통해 상기 대상체로 제공되는 메탈입자가 외부 대기와 격리될 수 있도록 상기 챔버에 마련되어 상기 고압가스공급부로부터 전달된 고압가스를 상기 대상체로 전달하는 고압가스유로(이하 ‘구성 E')와; 상기 챔버에 마련되어 사용 후 발생한 부산물 및 고압가스를 배출시키는 적어도 하나의 배출유로(이하 ’구성 F')와; 상기 배출유로에 연통하여 상기 매출유로를 통해 배출되는 상기 사용완료된 메탈입자 및 고압가스를 펌핑하는 배기부를 포함하는 것(이하 '구성 G')을 특징으로 하는 박막증착장치. [청구항 6] 제5항에 있어서, 상기 제2메탈안내구간의 상부 상기 상부챔버부분에는 상기 제1 및 제2메탈안내구간으로부터 공급된 메탈입자가 역류하는 것을 저지하는 윈도우글라스 오염방지용 배기구간이 형성되어 있고, 상기 하부챔버부분에는 상기 배기구간으로 소정의 가스를 공급하는 가스공급로가 형성되어 있는 것(이하 ‘구성 H')을 특징으로 하는 박막증착장치. 2) 이 사건 제2 특허발명 명칭: 박막증착시스템 출원일/등록일/등록번호: 2003...