1. 원고의 청구를 기각한다.

2. 소송비용은 원고가 부담한다.

1. 인정사실

가. 원고의 특허발명 원고는 반도체 제조에 사용되는 광 조사 장치 및 C 등을 생산하는 회사로서 아래 특허발명의 특허권자이다.

1) 발명의 명칭: C 2) 출원일/ 우선권주장일/ 등록일/ 등록번호: D/ 2004. 6. 24./ E/ F 3) 발명의 개요 밑줄 표시 및 도면부호 설명 등은 이해의 편의를 위해 부가한 것이다. 기술분야 본 발명은 유전체 재료를 개재시켜 방전하는 C에 관한 것이다(식별번호[23]). 단일 파장의 진공 자외광을 강하게 방사하는 특장(特長)을 가지고 있는 C를 탑재한 광 조사 장치는, 액정 패널 표시 소자의 패널 기판 표면에 부착한 유기물의 분해 제거나 패널 기판의 표면 개질 등에 이용되고 있다(식별번호[24]). C는 석영 글래스와 같은 유전체 재료로 이루어진 외측관 및 내측관이 동축 배치된 2중 원통관 구조의 방전 용기로 이루어지고, 이들 외측관과 내측관 사이에는 고리형상의 방전공간이 형성되어 그 내부에 방전용 가스로서 예를 들어 크세논 가스가 봉입되어 있다. 외측 전극과 내측 전극 사이에는 고주파 전압이 인가됨으로써, 크세논 엑시머 광이 방사된다(식별번호[26]). 종래기술의 문제점 최근 전체 길이가 800mm 를 초과하는 것과 같은 C가 요구되고 있다. 같은 구조에서는, 포장 용기 내에 수평으로 포장하여 트럭 등으로 반송한 경우, 램프에 주어지는 충격이나 진동에 의해 방전 용기가 균열된다는 문제를 일으킬 우려가 있었다(식별번호[27],[28]). 상기와 같은 문제를 해결하기 위한 수단으로서, 도 9에 도시하는 바와 같은, 외측관(11)과 내측관(12)을 동축 배치한 2중 원통관 구조의 방전 용기(13)에 있어서, 상기 외측관(11)과 내측관(12) 사이에 지지판(17)을 배치하는 구조가 제안되어 있다(일본 특허공개공보 2004...