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주문
1. 특허심판원이 2016. 8. 23. 2016당1312호 사건에 관하여 한 심결을 취소한다.
2. 소송비용은...
이유
1. 기초적 사실관계
가. 특허발명 1) 발명의 명칭: 엑시머 램프 2) 출원일/ 우선권주장일/ 등록일/ 등록번호: 2005. 4. 21./ 2004. 6. 24./ 2007. 12. 31./ 제792324호 3) 청구범위[특허심판원 2018정(취소판결)1호 정정심결의 확정에 따라 2018. 4. 5. 정정공고된 것으로서, 밑줄 친 부분이 정정사항임) 【청구항 1】피처리물 표면을 처리하기 위한 엑시머 램프로서, 동축형으로 배치된 외측관과 내측관이 서로 단부(端部)에서 용착되어, 양자간에 고리형상의 방전공간을 형성하여 이루어지는 방전 용기와, 상기 외측관의 외표면 및 내측관의 내표면에 각각 설치된 외측 전극 및 내측 전극을 가지고, 상기 외측관과 내측관 사이에 상기 내측관을 지지하는 지지판이 배치되어 이루어지고, 상기 방전공간 내에 엑시머 분자를 생성하는 방전가스가 충전되어 이루어지는 엑시머 램프에 있어서(이하 ‘구성요소 1’이라 한다
), 상기 지지판은 반경 방향의 단면(斷面)에 있어서 상기 피처리물 표면을 향한 광 취출 방향으로 절결을 가지는 것(이하 ‘구성요소 2’라 한다
)을 특징으로 하는 엑시머 램프(이하 ‘제1항 발명’이라 한다
). 【청구항 2】제1항에 있어서, 상기 지지판은 내측관에 고착되어 있는 것을 특징으로 하는 엑시머 램프(이하 ‘제2항 발명’이라 한다
). 4) 특허권자: 피고 기술분야 본 발명은 유전체 재료를 개재시켜 방전하는 엑시머 램프에 관한 것이다
(식별번호[23]). 단일 파장의 진공 자외광을 강하게 방사하는 특장(特長)을 가지고 있는 엑시머 램프를 탑재한 광 조사 장치는, 액정 패널 표시 소자의 패널 기판 표면에 부착한 유기물의 분해 제거나 패널 기판의 표면 개질 등에 이용되고 있다
(식별번호[24]). 엑시머 램프는 석영 글래스와 같은 유전체...