[2] 이온주입장치에 관한 출원발명의 진보성을 인정한 사례

[2] 이온주입장치에 관한 출원발명과 인용발명은 그 목적이나 기술적 구성 및 작용효과가 명백히 서로 다르고, 또한 출원발명은 공지된 선행기술로부터 예측되는 효과 이상의 현저하게 향상 진보된 새로운 작용효과가 있는 것으로 인정되므로 그 발명이 속하는 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 인용발명으로부터 용이하게 도출해 낼 수 없다 할 것이어서 진보성이 인정된다고 한 사례.

1. 원심심결의 인정사실과 판단

가. 이 사건 출원발명(이하 본원발명이라고 한다)의 특허청구범위 제1항은 "X방향으로 주사된 이온빔이 들어오는 주입실과, 이 주입실에서 웨이퍼를 지지하는 홀더와, 이 홀더를 위 주입실 내에서 상기 X방향에 수직인 Y방향으로 기계적으로 주사하는 홀더 구동장치를 구비하는 이온주입장치에 있어서, 상기 홀더구동장치는 상기 웨이퍼가 상기 Y방향으로 기계적으로 주사되도록 상기 홀더를 요동 회전시키는 것을 특징으로 하는 이온주입장치"이고, 인용발명(일본 공개특허공보 소 63-224138호의 이온주입장치)의 요지는 "이온처리조인 진공조와, 진공조 외부에 배치된 모터, 상기 모터와 축을 통해 연결되며 상기 진공조 내에 배치되어 피이온주입체인 웨이퍼를 고정 유지하며 고속회전시키는 디스크와 상기 웨이퍼에 이온을 주입하기 위한 이온빔 발생수단으로 형성된 이온주입장치"에 관한 것이다.

나. 본원발명의 특허청구범위 제1항에 기재된 발명과 인용발명을 비교하여 보면, 본원발명은 이온빔이 들어오는 주입실, 웨이퍼를 지지하는 홀더 및 상기 홀더를 구동시키는 홀더구동장치로 이루어진 이온주입장치에서 상기 홀더구동장치는 상기 웨이퍼가 이온 주입방향에 수직으로 공급되도록 상기 홀더를 요동회전시키는 이온주입장치에 관한 것으로서, 본원발명의 주요부는 이온주입 방향에 수직으로 웨이퍼가 공급될 수 있도록 홀더를 요동회전시키는 홀더구동장치임을 알 수 있고, 인용발명은 축을 통해 모터에 연결된 디스크(본원발명의 '홀더'에 대응함) 상에 웨이퍼를 장착한 후 웨이퍼 상에 이온주입이 가능하도록 디스크를 회전시키도록 구성되어 있어서, 웨이퍼를 장착한 기구의 운동이 본원발명은 요동회전운동으로, 인용발명은 회전운동으로 서로 다르게 표현되어 있으나, 본원발명이 직선운동의 문제점을 해결하기 위해 요동회전운동을 선택하고 있다는 점을 고려해 볼 때, 본원발명의 요동회전운동은 회전운동의 개념을 달리 표현한 것에 불과하고, 또한 인용발명의 회전운동과 구별할 수 있는 어떠한 기계적 구성도 본원발명의 특허청구범위 제1항에 기재되어 있다고 볼 수 없으므로 양 발명의 구성은 실질적으로 동일하다고 인정되고, 작용효과 측면에서 본원발명은 웨이퍼 장착기구를 요동회전운동함으로써 장치의 소형화와 경제적인 진공유지를 가능하도록 하는 것이나, 이러한 작용효과는 직선운동이 아닌 회전운동을 통해 달성된다고 볼 수 있으므로 웨이퍼 장치기구를 회전운동시키는 인용발명에서도 동일한 작용효과를 기대할 수 있다고 인정되므로, 결국 본원발명은 당해 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 인용발명으로부터 용이하게 발명할 수 있는 것이라고 판단된다.

다. 따라서 본원발명에는 진보성이 인정되지 아니하므로 거절사정되어야 하는바, 위와 같이 판단한 원사정은 정당하고, 항고심판청구는 이유가 없다.

2. 당원의 판단

가. 구 특허법(1990. 1. 13. 법률 제4207호로 전문 개정되기 전의 법률) 제6조 제2항 의 규정은 특허출원된 발명이 선행의 공지기술로부터 용이하게 도출될 수 있는 창작일 때에는 진보성을 결여한 것으로 보고 특허를 받을 수 없도록 하려는 취지인바, 출원된 기술에 공지된 선행기술로부터 예측되는 효과 이상의 보다 나은 새로운 작용효과가 있는 것으로 인정되어 출원된 기술이 선행기술보다 현저하게 향상 진보된 것으로 판단되는 때에는 기술의 진보발전을 도모하는 특허제도의 목적에 비추어 그 발명이 속하는 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 발명할 수 없는 것으로서 진보성이 있는 것으로 보아야 할 것이다 ( 당원 1996. 5. 10. 선고 95후880 판결 참조).

또한 특허권의 권리범위 내지 실질적 보호범위는 특허출원서에 첨부한 명세서의 청구범위에 기재된 사항에 의하여 정하여지는 것이 원칙이고, 다만 그 기재만으로 특허의 기술적 구성을 알 수 없거나 알 수 있더라도 기술적 범위를 확정할 수 없는 경우에는 명세서의 다른 기재에 의한 보충을 할 수가 있는데, 이 경우에도 명세서의 다른 기재에 의하여 특허범위의 확장해석이 허용되지 아니함은 물론 청구범위의 기재만으로 기술적 범위가 명백한 경우에 명세서의 다른 기재에 의하여 청구범위의 기재를 제한해석할 수는 없다 ( 당원 1993. 10. 12. 선고 91후1908 판결 참조).

나. 그러므로 기록에 의하여 본원발명과 인용발명을 대비하여 보기로 한다.

(1) 먼저 목적을 살피건대, 인용발명은 공지된 통상의 이온주입장치에서 피이온주입체(웨이퍼)의 회전궤적상에 대향하여 배치된 프로브(탐침)에 의하여 검출된 피이온주입체의 표면 전위를 정전압 측정기에 의하여 산출함으로써 피이온주입체 표면의 정전기에 의한 손상을 방지할 수 있도록 한 것이고, 본원발명은 진공장치를 대형화할 필요가 없게 하고, 동적밀봉방식 등의 복잡하고 어려운 방식을 채택하지 아니함으로써 고가인 다이나믹 진공밀봉기를 사용할 필요가 없어 경제적으로 비용이 저렴하면서도 이온빔을 전기적으로 주사하고 이것과 실질적으로 직교하는 방향으로 웨이퍼를 기계적으로 주사할 수 있는 이온주입장치 및 그 방법을 제공하고자 하는 것이어서, 양 발명이 그 목적이 서로 다르다.

(2) 나아가 기술적 구성을 보건대, 인용발명은 진공조와 피이온주입체를 고정유지하여 고속회전시키는 디스크와 이온빔 발생수단을 가진 통상의 이온주입장치에 있어서, 위 디스크면에서의 피이온주입체의 표면전위를 측정하여 산출하는 정전압측정기를 설치하고 이 정전압측정기의 출력에 의하여 이온주입 중의 피이온주입체의 표면전위를 감지할 수 있도록 한 것이고, 그 회전은 1개의 모터에 의한 원(원)회전임에 대하여, 본원발명의 특허청구범위 제1항은 그 기술적 구성이나 기술적 범위를 확정하기 어려우므로 이를 명세서의 도면이나 상세한 설명 등의 기재를 참작하여 그 기술사상을 검토해 보면, X방향으로 들어온 이온빔을 웨이퍼에서는 Y방향으로 기계적으로 주사되도록 홀더를 요동 회전시키되, 그 홀더구동장치는 축방향을 각기 달리하고 있는 3개의 직접 구동모터로 이루어져 있으며, 각개의 직접구동모터는 각각 필요한 곳에 직접 구동시킴으로써 홀더를 필요한 위치와 각도로 임의로 이동시킬 수 있는 구성으로서 이는 원회전이 아니므로, 결국 회전방식에 있어서 양 발명은 그 구성을 달리하고 있다.

(3) 또한 양 발명의 작용효과를 보건대, 인용발명은 정전기에 의한 손상방지를 목적으로 하는 것일 뿐이고, 모터가 외부에 노출되어 있고 웨이퍼를 투입하고 회수하는 장치에 대한 진공상태의 유지와 밀봉을 위하여 고가의 밀봉장치를 사용하여야 하며 그러한 경우에도 진공에 대한 완벽한 신뢰성을 보장할 수 없는 문제점이 여전히 남아 있는데 반하여, 본원발명은 위와 같은 이온주입장치의 문제점을 해결하고자 한 것으로서 그 목적하는 바와 같이 이온주입장치를 소형화할 수 있게 하고, 연속작업이 가능하며, 고가인 다이나믹 진공밀봉기를 사용할 필요가 없고, 진공밀봉이 단순하여 비용이 저렴한 장치를 제공할 수 있게 하는 것이어서 이 점에서도 양 발명은 그 관점을 서로 달리 하고 있다.

다. 앞에서 본 바와 같이 본원발명과 인용발명은 그 목적이나 기술적 구성 및 작용효과가 명백히 서로 다르고, 또한 본원발명은 공지된 선행기술로부터 예측되는 효과 이상의 현저하게 향상 진보된 새로운 작용효과가 있는 것으로 인정되므로 그 발명이 속하는 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 인용발명으로부터 용이하게 도출해 낼 수 없다 할 것이고, 따라서 본원발명에서는 진보성이 인정된다 고 할 것임에도 불구하고, 원심은 본원발명과 인용발명의 핵심적인 기술내용을 제대로 파악하지도 못한 채 그 근본적인 차이점 등에 대하여 심리를 다하지 아니하고 만연히 본원발명은 인용발명과 유사하여 진보성이 없다고 판단하고 말았으니, 그러한 원심심결에는 진보성 판단에 관한 법리를 오해하였거나 심리를 다하지 아니한 위법이 있다고 할 것이고, 이 점을 지적하는 논지는 이유가 있다.

그러므로 원심심결을 파기하고 사건을 심리·판단하게 하기 위하여 특허청 항고심판소에 환송하기로 하여 관여 법관의 일치된 의견으로 주문과 같이 판결한다.