1. 특허심판원이2016. 9. 8.2016당1308호 사건에 관하여 한 심결을 취소한다.

2. 소송비용은 피고가...

1. 기초사실

가. 이 사건 특허발명 아래 다.

의 3)항과 같이 이 사건 심결 이후 정정심결이 확정되고 정정공고가 이루어졌다. 이하 정정 전의 특허발명을 ‘정정 전 특허발명’이라 하고, 정정된 특허발명을 ‘이 사건 특허발명’이라 한다. (을 제18호증) 1) 발명의 명칭: 엑시머 램프 엑시머(Excimer)는 에너지가 가장 낮은 기저상태(Ground State)의 원자 1개와 에너지가 일정 레벨로 높은 여기상태(Excited State)의 원자 1개로 형성된 2량체(二量體) 분자를 의미한다.

엑시머 램프는 석영 유리로 이루어진 방전 용기 안에 적당한 엑시머 발광용 가스를 충전한 램프로서, 엑시머가 기저상태(Ground State)로 이행할 때에 방사하는 광(자외선광)을 이용한다.

2) 출원일/ 우선권주장일/ 등록일/ 등록번호: 2004. 12. 22./ 2004. 3. 25./ 2008. 2. 29./ 제811391호 3) 특허권자: 피고 4) 청구범위(이하 ‘이 사건 제1항 특허발명’과 같은 방법으로 표시하며, 전체 발명을 칭할 때에는 ‘이 사건 특허발명’이라 한다.

) 【청구항 1】엑시머 램프의 방전 용기의 적어도 발광부의 유리의 가상온도 가상온도(假想溫度): 서로 다른 열이력(熱履歷)을 가진 유리의 내부구조를 설명할 때 사용하는 온도 스케일이다. 가 900∼1200℃로서(이하 ‘구성요소 1’이라 한다

), 상기 방전 용기의 유리는 탄소(C)를 포함하고, 상기 방전 용기의 유리에 포함되는 탄소(C)의 양이, C/Si의 비로 0.1atm% atm%(원자퍼센트, atomic percent): ‘원자수’의 백분율을 의미한다. 이론적 연구에 있어서 합금, 그 외의 혼합물의 성분농도를 원자퍼센트로 나타낼 때가 많다. 이하인 것(이하 ‘구성요소 2’라 한다

)을 특징으로 하는 엑시머 램프. 【청구항 2 제1항에 있어서, 상기 방전 용기의 양단의 가열 가공에 의해서 형성된...