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주문
1. 원고의 청구를 기각한다.
2. 소송비용은 원고가 부담한다.
이유
1. 기초사실
가. 원고의 이 사건 출원발명(갑 제3호증) 1) 발명의 명칭 : B 2) 출원일/출원번호 : C/ D 3) 청구범위(2017. 5. 29. 보정된 것) 【청구항 1】기포를 제거하는 유닛에 있어서(이하 ‘구성요소 1’이라 한다
), 내부에 액이 흐르는 공간을 가지는 바디와(이하 ‘구성요소 2’라 한다
); 상기 바디에 액을 공급하는 액 유입관과(이하 ‘구성요소 3’이라 한다
); 상기 바디에서 기포가 제거된 액이 유출되는 액 유출관과(이하 ‘구성요소 4’라 한다
); 상기 내부 공간으로부터 기포를 외부로 배출하는 기포 배출관과(이하 ‘구성요소 5’라 한다
); 그리고 상기 내부 공간에 위치하며 그 길이 방향이 상기 바디의 길이 방향으로 제공되고 로드 형상을 가지는 바를 포함하되(이하 ‘구성요소 6’이라 한다
), 상기 바디의 내부 공간에는 상기 액 유입관과 상기 액 유출관 사이에 위치하며 상기 바디의 길이방향을 따라 횡단면이 변경되는 변경부가 제공되고(이하 ‘구성요소 7’이라 한다
) 상기 액 유입관은 상기 내부 공간으로 상기 액을 유입 시 상기 액이 상기 바디의 내벽을 따라 선회하도록 상기 내벽의 접선방향으로 연결되며(이하 ‘구성요소 8’이라 한다
), 상기 바는 외측면에 상기 내부 공간에서 액이 선회하는 방향과 반대 방향의 나선 형상의 나선홈이 형성되는(이하 ‘구성요소 9’라 한다
) 기포 제거 유닛(이하 ‘이 사건 제1항 발명’이라 한다
). 【청구항 2 내지 9, 13 내지 18】(기재 생략) 【청구항 10 내지 12, 19 및 20】(삭제) 기술분야 【0001】 본 발명은 액 내부에 기포를 제거하는 기포 제어 유닛 및 이를 포함하는 기판 처리 장치에 관한 것이다. 배경기술 【0004 한편, 기판을 제조하는 공정에서는 다양한 약액을 기판상에 공급하여 액처리...