1. 원고의 청구를 기각한다.

2. 소송비용은 원고가 부담한다.

1. 기초 사실

가. 원고의 이 사건 특허발명(갑1, 2호증) 1) 발명의 명칭 : 검사 장치 2) 출원일/ 등록일/ 등록번호 : 2012. 11. 28./ 2014. 5. 20./ 제1399540호 3) 청구범위 【청구항 1, 7, 8, 10~13】각 삭제 【청구항 2】기판이 적재되는 제1 적재 유니트; 상기 제1 적재 유니트에 적재된 상기 기판을 초기 위치로 옮기는 로딩 유니트; 상기 기판의 이송 경로를 따라 상기 초기 위치의 상기 기판을 이송하는 셔틀 유니트; 상기 기판의 이송 경로 상에 위치하고, 상기 기판의 정렬 상태를 확인하는 정렬 유니트; 상기 기판의 이송 경로 상으로 상기 정렬 유니트의 하류에 위치하고, 상기 기판의 통전 상태를 검사하는 검사 유니트; 및 상기 검사 유니트에서 검사된 상기 기판이 적재되는 제2 적재 유니트;를 포함하고, 상기 셔틀 유니트는 상기 검사 유니트에서 검사된 상기 기판을 상기 초기 위치로 이송하며, 상기 로딩 유니트는 상기 검사 유니트에서 검사되고 상기 셔틀 유니트에 의해 상기 초기 위치로 이송된 상기 기판을 상기 제2 적재 유니트에 적재하고, 상기 제1 적재 유니트와 상기 제2 적재 유니트는 상기 초기 위치로부터 상기 검사 유니트까지의 상기 기판의 이송 경로에 대해 가상의 수직선상에 배치되는 검사 장치 【청구항 3 기판이 적재되는 제1 적재 유니트; 상기 제1 적재 유니트에 적재된 상기 기판을 초기 위치로 옮기는 제1 로딩 유니트; 상기 기판의 이송 경로를 따라 상기 초기 위치의 상기 기판을 이송하는 셔틀 유니트; 상기 기판의 이송 경로 상에 위치하고, 상기 기판의 정렬 상태를 확인하는 정렬 유니트; 상기 기판의 이송 경로 상으로 상기 정렬 유니트의 하류에 위치하고, 상기 기판의 통전 상태를 검사하는 검사 유니트; 상기 검사...