1. 원고의 청구를 기각한다.

2. 소송비용은 원고가 부담한다.

1. 기초 사실

가. 원고의 이 사건 특허발명(갑1~3호증) 1) 발명의 명칭 : 스크라이브 장치 및 스크라이브 방법 2) 출원일/ 우선권주장일/ 등록일/ 등록번호 : 2010. 8. 18./ 2008. 1. 23./ 2012. 7. 4./ 제1164487호 3) 청구범위(2016. 1. 13.자 정정명세서 등 보정서에 의한 것) 아래 밑줄 친 부분이 정정된 부분이다. 【청구항 1】취성재료기판(脆性材料基板)을 수평 상태로 지지하는 기판지지수단(基板支持手段)과(이하 ‘구성요소 1’), 상기 기판지지수단에 의하여 지지된 상기 취성재료기판을 스크라이브(scribe) 스크라이브(scribe : 웨이퍼를 다수의 칩으로 잘라내기 위해 다이아몬드 커터 등으로 웨이퍼 표면에 가로, 세로로 흠을 내는

것. 스크라이브한 웨이퍼는 롤러로 가볍게 롤링함으로써 칩으로 분리할 수 있다. 하는 스크라이브 수단(scribe 手段)을 각각 구비하는 복수의 스크라이브 헤드(scribe head)와(이하 ‘구성요소 2’), 상기 복수의 스크라이브 헤드의 각각을, 길이방향인 X방향을 따라 슬라이드 가능하게 지지하는 가이드 레일(guide rail)을 구비하고(이하 ‘구성요소 3’), 상기 기판지지수단에 의하여 지지된 상기 취성재료기판과 상기 가이드 레일이 상기 X방향에 대하여 직교하는 Y방향을 따라 상대적으로 이동 가능하게 되어 있고(이하 ‘구성요소 4’), 상기 각 스크라이브 헤드는, 각각 설치된 상기 스크라이브 수단을 상기 Y방향을 따라 슬라이드 시킴으로써 스크라이브 전에 각각의 스크라이브 시작 위치에 얼라인먼트 하는 슬라이드 수단을 구비하는 것(이하 ‘구성요소 5’)을 특징으로 하는 스크라이브 장치 【청구항 2】제1항에 있어서, 상기 기판지지수단은, 지지한 상기 취성재료기판을 상기 Y방향으로 반송 가능한 것을 특징으로 하는...