1. 원고의 청구를 기각한다.

2. 소송비용은 원고가 부담한다.

1. 기초사실

가. 이 사건 출원발명 (갑 제4호증) 1) 명칭: 워크피스 워크피스(workpiece): 유리판, 필름, 리본, 태양 전지판, 미러, 액정 표시장치, 반도체 웨이퍼 등 제조 공정에 있는 제품을 의미한다. 지지체, 프로세서 챔버, 워크피스의 온도 제어 방법 및 워크피스 처리 장치 2) 국제출원일/ 우선권주장일/ 번역문 제출일/ 출원번호: 2008. 10. 31./ 2007. 11. 7./ 2010. 5. 6./ 제2010-7010037호 3) 청구범위 (2015. 12. 22.자 보정에 의한 것) 【청구항 1】프로세서 챔버 내의 워크피스를 보유하기 위한 워크피스 지지체(workpiece support)에 있어서, 워크피스를 수용하여 보유하기 위한 워크피스 수용면을 형성하는 워크피스 지지체(이하 ‘구성요소 1’이라 한다

); 및 상기 워크피스 수용면 상의 복수의 구획된 유체 유체(流體): 가열된 워크피스를 냉각시킬 목적의 액체를 말한다. 지대로서, 각각의 유체 지대는 별개의 유체 라인과 연통하는, 상기 복수의 구획된 유체 지대를 포함하며(이하 ‘구성요소 2’라 한다

), 상기 유체 지대 각각에 유체가 공급되면, 각각의 유체 지대가 가압되고, 상기 유체 지대는 상기 워크피스 수용면 상의 복수의 돌출된 릿지 릿지(ridge): 산등성이처럼 뾰족하게 솟아나와 있는 부분 에 의해 분리되고, 상기 워크피스, 상기 워크피스 수용면 및 상기 복수의 돌출된 릿지가 각각의 구획된 유체 지대를 위한 봉입된 체적을 형성하도록 상기 워크피스 수용면 상에 상기 워크피스가 위치되면, 상기 복수의 돌출된 릿지의 상부면이 상기 워크피스의 하부면과 접촉하고, 상기 돌출된 릿지는 상기 워크피스 지지체의 일부이고(이하 ‘구성요소 3’이라 한다

), 상기 지대 중 적어도 일부는 상기 워크피스 수용면 상에 상이한 방위각 위치(azimuthal position 를...