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(영문) 특허법원 2021.01.15 2020허2710
등록무효(특)
Text

1. The decision made by the Intellectual Property Tribunal on January 31, 2020 on the case No. 1145 per annum 2017 shall be revoked.

2. The costs of the lawsuit are assessed against the defendant.

Reasons

1. Basic facts

가. 이 사건 특허 발명( 갑 제 2호 증) 1) 발명의 명칭 : C 2) 번역문제 출 일/ 국 제출 원일/ 등록 일/ 등록번호 : 2015. 1. 20./ D/ E/ F 3) 특허권자 : 피고 4) 청구범위 (2018. 8. 31. 정정청구된 것, 정정사항은 밑줄로 표시한다) 【 청구 항 1】 제 2 기판 (2) 의 제 2 접촉 영역 (4 )에 제 1 기판 (1) 의 제 1 접촉 영역 (3) 을 본 딩하기 위한 방법( 이하 ‘ 구성요소 1’ 이라 한다) - 상기 제 2 기판 (2) 은 적어도 하나의 반응 층 (7) 을 가 짐( 이하 ‘ 구성요소 2’ 라 한다) - 에 있어서, 상기 방법은, - 기판 (1, 2) 을 플라즈마 챔버 (20, 20') 나 플라즈마 챔버 (20") 와 연결된 기판 챔버 (27) 로 수용하는 단계( 이하 ‘ 구성요소 3’ 이라 한다) - 플라즈마 챔버 (20, 20', 20") 는 플라즈마 생성을 위해 서로 다른 제 1 및 제 2 주 파수 (f21, f22) 로 작동될 수 있는 적어도 두 개의 발전기 (23, 24)를 포함함( 이하 ‘ 구성요소 4’ 라 한다) - 와, - 플라즈마 챔버 (20, 20', 20" )에 생성된 플라즈마를 제 1 접촉 영역 (3 )에 도포하여서, 제 1 접촉 영역 (3) 상의 저장소 형성층 (6) 내부에 저장 소 (5 )를 형성하는 단계와( 이하 ‘ 구성요소 5’ 라 한다), - 제 1 추출물이나 제 1 추출물 그룹으로 저장 소 (5 )를 적어도 부분적으로 채우는 단계와( 이하 ‘ 구성요소 6’ 이라 한다), - 사전- 본 딩 상호 연결부의 형성을 위해 제 2 접촉 영역 (4) 과 제 1 접촉 영역 (3) 의 접촉을 만드는 단계와( 이하 ‘ 구성요소 7’ 이라 한다), - 제 2 기판 (2) 의 반응 층 (7) 내에 포함된 제 2 추출물과 제 1 추출물의 반응에 의하여, 적어도 부분적으로 강화된 제 1 접촉 영역 (3) 과 제 2 접촉 영역 (4) 사이에 영구적인 본딩을 형성하는 단계( 이하 ‘ 구성요소 8’ 이라 한다 )를 포함하는 것을 특징으로 하는 제 2 기판 (2) 의 제 2 접촉 영역 (4 )에 제 1 기판 (1) 의 제 1 접촉 영역 (3) 을 본 딩하기 위한 방법( 이하...

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