가. 이 사건 특허발명(갑3, 4호증) 1) 발명의 명칭 : C 2) 출원일/ 우선권주장일/ 등록일/ 등록번호 : D/ 2008. 3. 24./ E/ B 3) 청구범위(2013. 6. 14. 정정된 것) 【청구항 1】기판을 수평으로 보유지지하면서 그 기판에 수직한 축 둘레로 회전시키는 회전보유지지장치(이하 ‘구성 1-1’)와, 기판이 상기 회전보유지지장치에 의해 회전하는 상태에서, 기판의 중심부로부터 가장자리부로 연속적으로 현상액(現像液)을 공급한 후에 현상액의 공급을 정지하지 않고 기판의 가장자리부로부터 중심부로 연속적으로 현상액을 공급하는 현상액공급부(이하 ‘구성 1-2’)를 구비하고, 상기 현상액공급부는, 기판의 지름방향을 따라 나란하도록 설치된 복수의 현상액 토출구를 갖는 현상액 노즐(이하 ‘구성 1-3’)과, 상기 현상액 노즐을 상기 복수의 현상액 토출구의 배열 방향을 따라 이동시키는 노즐 이동기구(이하 ‘구성 1-4’)를 포함하고, 상기 회전보유지지장치는, 기판을 제1 회전속도로 회전시킨 후에 기판의 회전속도를 상기 제1 회전속도로부터 제2 회전속도로 저하시키고(이하 ‘구성 1-5’), 상기 현상액공급부는, 기판이 상기 제1 회전속도로 회전하는 상태에서 기판의 중심부로부터 가장자리부로 연속적으로 현상액을 공급하여, 기판이 상기 제2 회전속도로 회전하는 상태에서 기판의 가장자리부로부터 중심부로 연속적으로 현상액을 공급하는 현상장치(이하 ‘구성 1-6’) 【청구항 2】제1항에 있어서, 상기 현상액공급부는, 기판의 바깥둘레 단부로부터 외측으로 현상액을 공급하지 않는 현상장치 【청구항 3】삭제 【청구항 4 제1항에 있어서, 상기 회전보유지지장치는, 기판의 회전속도를 상기 제2 회전속도로부터 단계적으로...