2. 소송비용은 원고가 부담한다.

가. 이 사건 출원발명 (갑 제1, 2호증 및 을 제3, 4호증) 1) 발명의 명칭: B 2) 출원일/ 우선권 주장일/ 출원번호: C/ 2002. 11. 15./ D 3) 청구범위(2015. 5. 29. 및 2015. 6. 12. 보정된 것) 【청구항 1】 하기 일반식에 의해 표시되는 기상 증착을 위한 휘발성 화합물. (상기 식에서 M은 루테늄, 아연, 티타늄, 유러퓸 및 칼슘으로 구성되는 군에서 선택되며, R1, R1', R2 및 R2'는 독립적으로 치환 또는 비치환된 알킬기이고, R3 및 R3'은 독립적으로 수소 또는 비치환된 알킬기이다)(이하 ‘이 사건 제1항 발명’이라 하고 나머지 청구항도 같은 방식으로 부른다) 【청구항 9】 하기 일반식에 의해 표시되는 기상 증착을 위한 휘발성 화합물. (상기 식에서 M은 스트론튬 또는 망간이고 R1, R1' R2 및 R2'는 터셔리 부틸기이며 R3 및 R3'은 메틸기이다.

) 【청구항 12】 금속 M을 포함하는 물질을 증착하기 위한 방법으로서, 상기 방법은 제1 시약 증기를 기판에 노출시킨 다음, 제2 시약 증기를 기판에 노출시키는 단계를 포함하며, 상기 제1 시약은 청구항 제1항, 3항, 6항, 7항, 9항 내지 11항 중 어느 하나의 항에 의한 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법. 【청구항 19】 금속 M을 포함하는 물질을 증착하기 위한 방법으로서, 상기 방법은 시약 증기를 기판에 노출시키는 단계를 포함하며, 상기 시약은 청구항 제1항, 3항, 6항, 7항, 9항 내지 11항 중 어느 하나의 항에 의한 화합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법. 【청구항 26】 기상 증착을 위한 화합물의 휘발성 올리고머로서, 상기 화합물은 하기 일반식에 의해 표시되는 휘발성 올리고머. (상기 식에서 M은 루테늄, 아연, 티타늄, 유러퓸 및 칼슘으로 구성되는 군에서 선택되며, R1, R1' R2, 및 R2'는 독립적으로...