beta
특허법원 2019.02.14 2018허7378

등록무효(특)

주문

1. 원고의 청구를 기각한다.

2. 소송비용은 원고가 부담한다.

이유

1. 기초사실

가. 원고의 이 사건 특허발명 (갑 제2, 8, 9호증) 1) 발명의 명칭 : C 2) 국제출원일/ 등록일/ 등록번호 : D/ E/ F 3) 2018. 7. 10.자 정정청구에 의한 청구범위 (갑 제2호증) 【청구항 1】처리될 기판을 지지하는 기판 지지 부재(이하 ‘구성요소 1-1’이라 한다

); 상기 기판 지지 부재를 회전시키는 회전 구동 부재(이하 ‘구성요소 1-2’라 한다

); 상기 기판 지지 부재의 둘레에 제공되는 용기(이하 ‘구성요소 1-3’이라 한다

); 상기 기판의 상면으로 감광액을 공급하는 감광액 노즐을 갖는 처리액 공급 유닛을 포함하되(이하 ‘구성요소 1-4’라 한다

), 상기 감광액 노즐은, 상기 기판 지지 부재가 제 1 공급 속력으로 회전하는 상태에서 상기 감광액의 공급을 개시하여, 상기 기판 지지 부재가 상기 제 1 공급 속력보다 감속된 제 2 공급 속력으로 회전하는 상태에서 상기 감광액의 공급을 중지하되(이하 ‘구성요소 1-5’라 한다

), 상기 회전 구동 부재는 상기 기판 지지 부재의 회전 속력을 상기 제 1 공급 속력에서 상기 제 2 공급 속력으로의 감속을 가속 없이 단계적으로 수행하되(이하 ‘구성요소 1-6’이라 한다

), 상기 제 1 공급 속력에서 상기 제 2 공급 속력으로의 감속 과정에서 설정 시간 동안 버퍼 속력으로 상기 기판 지지 부재를 회전시키는(이하 ‘구성요소 1-7’이라 한다

) 기판 처리 장치(이하 ‘이 사건 제1항 정정발명’이라 하고, 나머지 청구항도 같은 방식으로 부른다). 【청구항 2】제 1 항에 있어서, 상기 회전 구동 부재는 상기 감광액의 공급이 종료된 후, 상기 기판 지지 부재를 상기 제 2 공급 속력보다 가속된 확산 속력으로 회전시키는 기판 처리 장치. 【청구항 3 제 2 항에 있어서, 상기 확산 속력은 상기 제 1 공급 속력보다...