등록무효(특)
1. 특허심판원이 2014. 3. 31. 2013당2685호 사건에 관하여 한 심결을 취소한다.
2. 소송비용은...
1. 기초사실
가. 이 사건 특허발명 1) 발명의 명칭 : 어모퍼스 실리콘막의 성막 방법 및 성막 장치 2) 출원일/등록일/특허번호 : 2011. 4. 26./2013. 7. 1./제1282908호 3) 특허권자 : 원고 4) 특허청구범위 【청구항 1】하지(base) 상에 어모퍼스 실리콘막을 포함하는 막을 성막하는 성막 방법으로서, (1) 상기 하지를 가열하고, 상기 가열한 하지에 아미노실란계 가스를 흘려, 상기 하지 표면에 시드층을 형성하는 공정(이하 ‘구성 1-1’이라 한다)과, (2) 상기 하지를 가열하고, 상기 가열한 하지 표면의 시드층에 아미노기를 포함하지 않는 실란계 가스를 공급하고, 상기 아미노기를 포함하지 않는 실란계 가스를 열분해시킴으로써, 상기 시드층 상에 어모퍼스 실리콘막을 형성하는 공정(이하 ‘구성 1-2’라 한다)을 구비하며, 상기 아미노실란계 가스가, BAS(부틸아미노실란), BTBAS(비스터셔리부틸아미노실란), DMAS(디메틸아미노실란), BDMAS(비스디메틸아미노실란), TDMAS(트리스디메틸아미노실란), DEAS(디에틸아미노실란), BDEAS(비스디에틸아미노실란), DPAS(디프로필아미노실란) 및 DIPAS(디이소프로필아미노실란)의 적어도 하나를 포함하는 가스로부터 선택(이하 ‘구성 1-3’이라 한다)되고, 상기 아미노기를 포함하지 않는 실란계 가스가, SiH4, Si2H6, 트리실란(Si3H8), 테트라실란(Si4H10), 펜타실란(Si5H12), 헥사실란(Si6H14), 헵타실란(Si7H16), 사이클로트리실란(Si3H6), 사이클로테트라실란(Si4H8), 사이클로펜타실란(Si5H10), 사이클로헥사실란(Si6H12), 사이클로헵타실란(Si7H14)의 적어도 어느 하나로부터 선택(이하 ‘구성 1-4’라 한다)되는 것을 특징으로 하는 어모퍼스 실리콘막의 성막 방법 【청구항 2】제1항에 있어서, 상기 (1) 공정에 있어서의 상기 하지의 가열 온도가,...