2. 소송비용은 피고가...

가. 원고의 이 사건 특허발명(갑1, 2호증) 1) 발명의 명칭 : B 2) 출원일/ 우선권주장일/ 등록일/ 등록공고일/ 특허번호 : C/ 2012. 6. 13./ D/ E/ F 3) 청구범위 【청구항 1】기판을 수용하는 처리실과, 상기 처리실의 내부에 배치되어 상기 기판을 탑재하는 탑재대와, 상기 처리실의 외부에서 상기 탑재대와 대향하도록 배치되어 고주파 전원에 접속되는 유도 결합 안테나를 구비하는 플라즈마 처리장치에 있어서(이하 ‘구성요소 1’), 상기 유도 결합 안테나와 대향하는 상기 처리실의 벽부를 구성하고, 상기 탑재대 및 상기 유도 결합 안테나의 사이에 개재하는, 도전체로 이루어지는 창 부재를 더 구비하며(이하 ‘구성요소 2’), 상기 창 부재는 복수의 분할편으로 분할되고, 상기 복수의 분할편은 서로 전기적으로 도통하지 않도록 직접 접촉하지 않고(이하 ‘구성요소 3’), 적어도 몇 개의 상기 분할편은 도선으로 접속되어 폐회로를 형성하고, 상기 폐회로는, 각 상기 분할편을 접속하는 상기 도선에 있어서 적어도 하나의 콘덴서를 갖는 것(이하 ‘구성요소 4’)을 특징으로 하는 플라즈마 처리장치 【청구항 2】제1항에 있어서, 상기 폐회로의 리액턴스가 음으로 되도록 상기 콘덴서의 정전 용량이 조정되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리장치 【청구항 3】제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 도선은 상기 유도 결합 안테나의 중심에 대해 대칭으로 배치되는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리장치 【청구항 4】제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 도선의 각각이 상기 콘덴서를 갖는 것을 특징으로 하는 플라즈마 처리장치 【청구항 5 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 도선은 상기 유도 결합 안테나와 오프셋되어 배치되는 것을...