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2016-01-08

블랭크 마스크의 환급대상 원재료 해당 여부

블랭크 마스크의 환급대상 원재료 해당 여부

사실관계

ㅇ 블랭크 마스크(Blank Mask)를 수입하여 노광, 현상 및 식각 공정을 거쳐 포토 마스크(Photo Mask)를 생산․수출

ㅇ 포토 마스크 제조 공정

- 블랭크 마스크에 전자회로 패턴을 형성하는 과정

1. 전자회로 패턴 전자빔을 레지스트에 조사

2. 형성된 회로패턴의 금속막을 식각

3. 레지스트 등 세척

질의사항

Blank Mask가 환급대상 원재료에 해당하는 지 여부

세원심사과

2016-01-08

회신내용 :

블랭크 마스크에 전자회로 패턴을 형성하는 경우의 블랭크 마스크는 환급대상 원재료에 해당함.