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주문
1. 피고가 2009. 5. 15. 원고 A, B에 대하여 한 각 유족급여 및 장의비 부지급처분을 취소한다.
2....
이유
... 경보가 총 46회 울렸다.
그 경보발생 현황은 별지 [표 13] 최근 6개월간 5라인의 검지기 경보발생현황(물질명별) 기재와 같고, 이 중에서 2009. 7. 20. 브롬화수소(HBr)가 누출되었음을 이유로 발령된 경보의 경우 위 가스가 고농도로 5,729초간 실제 누출되어 매우 위험한 상황이었음에도 현장 근로자의 대피 등의 적절한 조치가 없었다.
㉴ 5라인의 감광 공정에서 사용하고 있는 40 ~ 50여 종의 감광제 벌크(액체용액) 중 6개를 임의로 선정해서 벤젠 등 일부 화학물질의 함유량을 분석한 결과는 아래 표와 같다.
그러나 그 함유량은 극히 미량이고 감광 공정 챔버에 밀폐형 국소배기장치가 설치되어 있어서 정상적으로 운영되는 동안에 챔버 밖 공기 중 농도는 검출한계 미만일 가능성이 높다.
PR 벌크에서 분석한 물질 PR 벌크 시료 SPSL 402 SL 4100A SEPR 402 SPUV-5604 SMDT-750 JSAL-2726 벤젠*, %(ppm) 0.000891 (8.91) 0.000218 (2.18) 0.000234 (2.34) 0.000785 (7.85) 0.000015 (0.15) 0.000008 (0.08) 톨루엔, %(ppm) 0.015184 (151.84) 0.00041 (4.1) 0.000448 (4.48) 0.000053 (0.53) 0.000012 (0.12) 0.000019 (0.19) 2-methoxyethanol,%(ppm) 0.002185 (21.85) 0.001079 (10.79) 0.006392 (62.92) 0.000590 (5.90) 검출 되지않음 검출 되지않음 ㉵ 이온 주입과정에서 노출되는 유해인자인 도판트(Dopants; 아르신, 보론, 포스핀 등)는 발암성, 폭발성, 가연성이 있는 위험물질이고, 또한 아르신 가스 사용으로 인한 반응 부산물인 비소화합물은 방광암, 피부암, 백혈병의 원인인자이다.
㉶ 직무별 노출수준은 노출강도와 노출빈도를 조합하여 평가하는 것이 필요한데, 라인 내 근로자의 경우 유해인자 발생설비, 장치, 기계 등이 밀폐되어 있고 근로자와 격리되어 있으며 공정 내에서 이루어지는 장비, 기계 등의 수리, 세척, 정비에는 관여하지 않기...